高真空排气单元 VTC-050

高真空排气单元特点干净排气・真空采用涡轮分子泵与无油涡旋式真空泵组合方式，完全干燥干净的高 真空排气系统。结构紧凑由于非常紧凑且安装占地面积少，可在现在已使用中的装置近旁安装。且附脚轮便于移动。操作性能好本高真空排气系统具有涡旋真空泵和涡轮分子泵分别单独运行的手动操作和一个按钮同时开始两泵运行的自动操作※等两种方式。可按用途选择。

高真空排气单元选择项
涡轮分子泵
可用客户指定的涡轮分子泵组成高真空排气系统。
请询问涡轮分子泵的的安装方向。
 
其他
箱、真空计、自动阀等可选部分按您的需求安装。
 
Turbo Molecular Pump
If you have any preference of TMP, it could be chosen. Ask for TMP and installation direction of TMP.
 
Others
Ask for chamber, vacuum gauge and automatic valve because they are optional.
 
　
使用用途 (Applications)
加速器(Accelerator) X线分析装置  (X-ray Fluorescence Spectroscopy)
同步加速器放射 (Synchrotron Radiation)  电子显微镜 (SEM/TEM)
泄漏测试  (Leak Test) 各种试验・分析装置 (Various Analyzers)
重量分析装置  (Mass Spectrometer) 辅助高 真空排气装置
表面分析装置  (Surface Analyzer) 其他
　
**注意事项（Precaution on Usage）
这种真空泵是清洁排气规格。请不能排放对人体有毒的气体、爆炸火灾危险性的气体、腐蚀性气体、药品、溶剂、粉状体等物质。对于排放了特殊气体等的泵本公司不承担维护保修责任，请予以谅解。
请在环境温度5℃～40℃范围内使用。
希望将室、真空计、自动阀等一起同时安装。

主要参数  (Specifications)

型号 Model VTC-050 VTC-150 法兰内径 Flange size 吸气口 Inlet ICF114 ICF152 排气口 Outlet NW16 NW16 涡轮分子泵排气速度 TMP pumping speed N2 L/s 50 190 H2 L/s 40 160 *后压力  Ultimate pressure Pa 10-6台（无热烘 No baking） 噪音 Noise level dB(A) 60 粗辗真空泵  Foreline pump ISP-250B-SV 输入电压  Voltage V 单相 Single phase 100 重量 Weight kg 49 54 外形尺寸 Dimensions mm W 350×L 490 ×H 591 W 350×L 490 ×H 638 选项 Optional parts 箱、真空计、自动阀等 Chamber, Vacuum gauge, automatic value 型号 Model VTU-050 VTU-500 法兰内径 Flange size 吸气口 Inlet ICF114 ICF203 排气口 Outlet NW16 NW25 涡轮分子泵排气速度 TMP pumping speed N2 L/s 50 550 H2 L/s 40 500 *后压力  Ultimate pressure Pa 10-6台（无热烘 No baking） 噪音 Noise level dB(A) 56 60 粗辗真空泵  Foreline pump ISP-90 ISP-500B-SV 输入电压  Voltage V 单相 Single phase 100 重量 Weight kg 25 93 外形尺寸 Dimensions mm W 350×L 340 ×H 285 W 430×L 570 ×H 740 选项 Optional parts 箱、真空计、自动阀等 Chamber, Vacuum gauge, automatic value