SGC-1A 椭圆偏振测厚仪
仪器参数
测量范围 1nm-300nm 测量*小值 ≤1nm 入射角 30°-90° 误差≤0.1° 偏振器方位角读数范围 0°-180° 度盘刻度 每格2度 游标*小读数 0.05° 光学中心高度 152 工作台直径 φ70 外形尺寸 730*230*290 主机重量 20kg