SGC-2 自动椭圆偏振测厚仪 SGC-2

l        测量范围：1nm～4000nm；

l        测量*小值：≤1nm；

l        镀膜折射率范围：1.3 ~ 2.49

l        入射角：40°～90°　　误差≤0.05°；

l        偏振器方位角范围：0°～180°；

l        偏振器步进角：0.0375°/步；

l        仪器测量精度：在10nm处误差为±0.5nm；

l        光学中心高度：75㎜；

l        允许样品尺寸直径：Φ10~Φ120㎜，厚度≤10㎜；

l        外形尺寸：730 x230X 290；

l        主机重量：30kg；

椭圆偏振法测量的原理很早就已提出,相应的测试方法和设备也不断地被改进和**,使得椭圆偏振法成为重要的测试手段,广泛地应用在光学、材料、生物、医学等各个领域〔1〕.其中测量薄膜材料的厚度、折射率和消光系数是椭圆偏振法*基本、也是非常重要的应用之一.

本仪器分为光源、接收器、主机、电子及通讯四部分，外观参看右图。

1、　光源：采用波长为632.8nm的氦氖激光光源①其特点是：光强大、光谱纯、波长稳定

     性好。

2、　接收器：采用光电倍增管⑤，把光讯号变为电讯号，经放大后输出至微机，由微机选择出消光位置的角度值。

3、　主机部分：除以上两项外，还有起偏组件②，样品台③，检偏组件④。

4、  电子及通讯部分⑥：采集光强及对应的角度值并传输到计算机，再接收由计算机发出

     的指令逐步靠近消光点。