Filmetrics膜厚度测量仪 PARTS PARTS
产品简介
通过Filmetrics膜厚测量仪*新反射式光谱测量技术,*多4层透明薄膜厚度、 n、k值及粗糙度能在数秒钟测得。其应用广泛,例如 : 半导体工业 : 光阻、氧化物、氮化物。 LCD工业 : 间距 (cell gaps),ito电极、polyimide 保护膜。 光电镀膜应用 : 硬化镀膜、抗反射镀膜、过滤片。
产品详细信息
薄膜测量领域的#1品牌
PARTS利用垂直&偏角度双光源实现了更简便、更**的薄膜测量
在已有分析能力强大的反射率-穿透率同时测量系统平台上,我们增加了散射率、临界入射角反射率的计算,从此无需建模即可对单层膜膜厚,光学常数n、k值进行测量!!多层膜的**分析同样只需轻击鼠标即可轻松完成!
分析优势
PARTS符合行业**标准,极小的占地空间、通用的USB接口,确保设备安装简单便捷。整机无任何运动件,除钨卤素灯外无需其他维护,确保设备高度可靠。**、可靠的集成
得益于计算垂直(0°)入射和角度(70°)入射的反射率和穿透率,PARTS极大了提高了对**薄膜应用场合(如:太阳能、OLEDs等行业)的分析能力。尤其,通过计算变量R0,R70,TO,我们可以简单便捷的实现膜层厚度,n、k值的测量。而且,由于增加了对散射率计算,使膜层的粗糙度测量从其它分析上分离出来,从而让我们可以实现膜层表面粗糙度的单独测量。
PARTS系列配有多种波长的产品以满足不同客户的需求,具体规格如下:
Model | Thickness Range | *Wavelength Range |
PARTS | 5nm-70µm | 380-1050nm |
PARTS-UV | 1nm-70µm | 200-1100nm |
PARTS-EXR | 5nm-70µm | 380-1700nm |
*以上数值会因薄膜堆叠层数变化而有所不同。
零配件清单如下:
- 光谱仪主机
- FILMeasure 6.0 软件光碟
- BK-7参考片
- Al2O3参考片
- Si参考片
- Anti-reflector
- 拭镜纸
优势及售后服务:
- 拥有130多种材料的数据库
- 免费软件更新
- 工作日应用工程师24小时的技术支持
- 在线“手把手”支持
- 支持硬件升级
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