单晶硅片制绒设备 单晶硅片制绒设备
产品简介
功 能:单晶硅片扩散前清洗、去损伤、绒面腐蚀、干燥处理 特 性: ●高速机械手移载,按工艺流程完成承载篮平稳输送,定位精准 ●三菱PLC控制,10.4”触摸屏**操作界面,方便参数设置及多工艺方式的转换 ●**防腐技术,确保设备每个部位的抗酸、抗碱性能 ●电脑自动添加药液系统 ●成熟的硅片干燥工艺,保证硅片不留任何水痕 ●实行全自动供排水控制 ●实现1800片~3200/小时超大产能(硅片尺寸:1
产品详细信息
功 能:单晶硅片扩散前清洗、去损伤、绒面腐蚀、干燥处理
特 性:
●高速机械手移载,按工艺流程完成承载篮平稳输送,定位精准
●三菱PLC控制,10.4”触摸屏**操作界面,方便参数设置及多工艺方式的转换
●**防腐技术,确保设备每个部位的抗酸、抗碱性能
●电脑自动添加药液系统
●成熟的硅片干燥工艺,保证硅片不留任何水痕
●实行全自动供排水控制
●实现1800片~3200/小时超大产能(硅片尺寸:125x125mm & 156x156mm & 210*210mm)
设备主要结构:
●上料台
●清洗主体
●控制系统
●移载机械手
●烘干系统
●抽风系统
工艺流程:上料→去除切割损伤层→温纯水隔离→单晶绒面处理→纯水喷淋隔离→纯水清洗→HCI处理→纯水清洗→HF处理→纯水喷淋隔离→纯水清洗→预脱水处理→下料