多晶硅片制绒酸洗设备 多晶硅片制绒酸洗设备
产品简介
功 能:多晶硅片去损伤、绒面腐蚀、清洗、干燥处理 特 性: ●先进的工艺技术 ●良好的绒面均匀性 ●设备体积小,可减少占地面积 ●设备低消耗,可降低总成本 技术参数: 设 备 尺 寸 8650(L)*1850(W)*2300(H)mm 硅 片 尺 寸 125*125mm 156*156mm 产 能 1800pcs/hr 1200pcs
产品详细信息
功 能:多晶硅片去损伤、绒面腐蚀、清洗、干燥处理
特 性:
●先进的工艺技术
●良好的绒面均匀性
●设备体积小,可减少占地面积
●设备低消耗,可降低总成本
技术参数:
设 备 尺 寸
8650(L)*1850(W)*2300(H)mm
硅 片 尺 寸
125*125mm
156*156mm
产 能
1800pcs/hr
1200pcs/hr
碎 片 率
≤0.2%
硅 片 厚 度
>160цm