轮廓仪 SV
产品简介
SV系列轮廓仪: X 轴测量范围: 100mm 或 200mm Z轴测量范围:±25mm 分辨率: 0.05μm 指示精度: ±(1+0.01L)μm (CV-3100S4, H4, W4)(20° C 时) * L 为驱动长度(mm)
产品详细信息
SV系列轮廓仪:
X 轴测量范围: 100mm 或 200mm
X 轴测量范围: 100mm 或 200mm
Z轴测量范围:±25mm
分辨率: 0.05μm
指示精度: ±(1+0.01L)μm (CV-3100S4, H4, W4)(20° C 时) * L 为驱动长度(mm)
倾斜范围: ±45°
Z2 轴(立柱)垂直行程: 300mm 或 500mm
测力: 30mN
跟踪角度: 向上:77°、向下: 87°(根据表面粗糙度,使用标准单切面测针)
测针针尖半径: 25μm、硬质合金针尖