上海蔡司ZEISS三次元维修保养校准

CARL ZEISS CONTURA G2 旋转式探头三次元特点

一、机械结构

(a) X、Z 轴皆采用精密陶瓷材质,特性如下: 

    杨氏系数高，所以刚性强，不易变形，可以保持 X、Z 轴直线度。

    低膨胀系数，可以减少热传导产生的结构扭曲，提高量测精度。

    重量轻，可降低动态的惯性，增加量测速度，保持三轴直角度。

    硬度高，不易扭曲变形，可长久保持 X，Z 直线度，直角度。

(b) 采用 ZEISS 预载式空气轴承，可使龙门与平台间隙永远保持4-6μm，维持高精度量测。

(c) Y 轴采包覆式空气轴承，可降低动态量测惯性，提高三轴直角度。
 

(d) Z 轴采免调整盒型空气轴承，气源不足时，Z 轴具自动锁定功能。

(e) 气囊式探头重量平衡系统。

(f) 摇控操作盘采双轴同动操控，并具可逆键，操作简便快速。
 

(g) 采用ZEISS**光学尺，分辨率 0.2μm

二、****的精度

(a)精度是在 CMM 三轴*大移动速度下获得 (V=520 mm/s)

(b) MPE_E=2.2+L/300 μm

(c) 精度即使是在远离三轴光学尺*远的平台左下方，亦即理论上空间精度*差的地方，也能满足所标示的数值。