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CARL ZEISS CONTURA G2 旋转式探头三次元特点

一、机械结构

(a) X、Z 轴皆采用精密陶瓷材质,特性如下: 

    杨氏系数高，所以刚性强，不易变形，可以保持 X、Z 轴直线度。

    低膨胀系数，可以减少热传导产生的结构扭曲，提高量测精度。

    重量轻，可降低动态的惯性，增加量测速度，保持三轴直角度。

    硬度高，不易扭曲变形，可长久保持 X，Z 直线度，直角度。

(b) 采用 ZEISS 预载式空气轴承，可使龙门与平台间隙永远保持4-6μm，维持高精度量测。

(c) Y 轴采包覆式空气轴承，可降低动态量测惯性，提高三轴直角度。
 

(d) Z 轴采免调整盒型空气轴承，气源不足时，Z 轴具自动锁定功能。

(e) 气囊式探头重量平衡系统。

(f) 摇控操作盘采双轴同动操控，并具可逆键，操作简便快速。
 

(g) 采用ZEISS**光学尺，分辨率 0.2μm

二、****的精度

(a)精度是在 CMM 三轴*大移动速度下获得 (V=520 mm/s)

(b) MPE_E=2.2+L/300 μm

(c) 精度即使是在远离三轴光学尺*远的平台左下方，亦即理论上空间精度*差的地方，也能满足所标示的数值。

三、控制系统

 采用 ZEISS 第四代控制箱，内部具备 ：
    (a)控制探头    (b)控制三轴速度    (c)运算   (d)数据传送转换              等, 采32 bit 控制 ，量测路径完全以法线方向进行量测。

四、探头系统
 
 采用 ZEISS **设计** RDS/RST 旋转式探头系统

 (a) 取点方式：除三个机械开关外，另有感应晶体，以进行高精度量测。

 (b) 探测力量：＜ 0.01 Nm

 (c) 可接*长延长杆长度：300 mm

 (d) 可旋转角度：每 2.5°

 (e) 旋转方向： 水平方向:±180°
    垂直方向:±180°

 (f) 使用20 mm探针时，量测重现性＜ 0.5 μm

 (g) 角度精度控制 : 光学度盘

 (h) 角度精度 : 1”