爱德华IH80真空泵维修 BOC EDWARDS IH80
产品简介
Edwards iH 干泵为高难度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品)提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列具有五级主泵,使用**的悬臂式转子、爪式和罗茨设计,可改善粉尘的处理,减少排气噪音。此外,iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全封闭的水冷却电机。 欢迎来电垂询爱德华IH80真空泵维修价格。
产品详细信息
爱德华IH80真空泵维修
功能和优势:
1、优化了设施消耗。
2、无需预防性维护。
3、悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
4、在节省电机功率的同时*大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
5、耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
6、较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的**保证。
7、整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。