QUARK夸克面发光UV照射装置,准分子清洗机QEF-600 QEF-600
产品简介
QUARK夸克面发光UV照射装置,准分子清洗机QEF-600QUARK夸克面发光UV照射装置,准分子清洗机QEF-600QUARK夸克面发光UV照射装置,准分子清洗机QEF-600
产品详细信息
用途
表面洗浄
表面改質
仕様
波長 | 172nm |
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照射長 | 620mm |
照射幅 | 72mm |
*照度 |
180mW/cm2 |
分布 | ±10% |
ユーティリティ | CDA、N2、冷却水、AC200V |
機能 | 各種流量計、照度モニタ、フィードバック制御 |