产品简介
开启式RTP快速升降温退火炉,是由我公司自主研发的高性能热处理设备。本产品采用国际先进制造工艺,造型新颖结构合理,炉体上下两半设计,可自由打开闭合,**可靠,炉管外径150mm,炉膛采用高纯氧化铝纤维材料真空吸附成型,表面涂有高反射率高温保护涂层,既能降低热量损耗,还能提高炉内温度稳定性。试验样品放置于密封的石英管内,内部洁净度高,可降低间接污染的可能。已广泛用于半导体器件研发及生产等领域,该系统可满足离子注入后的快速退火,也可用于欧姆接触快速合金,还可用于硅化物合金退火,氧化物生长,以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。本产品采用红外加热,升温速度快达30℃/S,炉体下部配有轨道,可左右移动至底部风扇处,以达到快速冷却的目的。
产品详细信息
RTP快速升降温退火炉 MXG1200-150-SL-RTP
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开启式RTP快速升降温退火炉,是由我公司自主研发的高性能热处理设备。本产品采用国际先进制造工艺,造型新颖结构合理,炉体上下两半设计,可自由打开闭合,**可靠,炉管外径150mm,炉膛采用高纯氧化铝纤维材料真空吸附成型,表面涂有高反射率高温保护涂层,既能降低热量损耗,还能提高炉内温度稳定性。试验样品放置于密封的石英管内,内部洁净度高,可降低间接污染的可能。已广泛用于半导体器件研发及生产等领域,该系统可满足离子注入后的快速退火,也可用于欧姆接触快速合金,还可用于硅化物合金退火,氧化物生长,以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。本产品采用红外加热,升温速度快达30℃/S,炉体下部配有轨道,可左右移动至底部风扇处,以达到快速冷却的目的。
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技术参数
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项目
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主要技术指标
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数据
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规格型号
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TF1200-150-SL-RTP
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温度控制
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*高温度点
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1200℃
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额定温度
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1100℃
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稳定状态温度范围
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200-1050℃
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温度测量精度
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±0.2℃
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温度控制重复性
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±1℃
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温度控制**度
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±1℃
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温度均匀性
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±2℃
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温度状态工艺时间
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7-32 S(200-1050℃)
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*快升温速率
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30℃/S(可按需定制)
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降温速率
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1-200℃(将试样移出加热区域或通氮气可加快降温)
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温度控制模式
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智能模糊PID全闭环控制
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触摸屏
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尺寸
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7寸LCD 工控
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物理指标
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*大功率
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27 Kw
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额定电压
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AC380V,50/60Hz
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测温元件型号
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K型热电偶
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石英管规格
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Φ150*1500
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真空度
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选配分子泵真空度可达6*10-3Pa
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抽气端口尺寸
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KF40或Φ6mm
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进气端口尺寸
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Φ6mm
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冷却方式
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自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气:2psi(0.14kg/cm2)–
7psi(0.5kg/cm2)
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外形尺寸
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深600*宽1520*高700
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设备重量
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100Kg
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