射频电源常见故障维修与安装 射频电源维修

一般是连接射频源和匹配器或功率计的电缆插头与插座接触**或根本没有接触上，用钳子或镊子将插座芯往里挟一下，用洒精棉球把插头擦干净再插上即可解决。射频电源常见故障维修与安装

射频电源常见故障现象及维修：
射频电源故障现象1.：有Ua无Ia
原因及解决办法：射频电源常见故障维修与安装
Ua接线断、表头上虽有Ua而电子管上没有；
 射频电源故障现象2：有Ua，Ia小，无Pf和Pr。
原因及解决办法：
一般是连接射频源和匹配器或功率计的电缆插头与插座接触**或根本没有接触上，用钳子或镊子将插座芯往里挟一下，用洒精棉球把插头擦干净再插上即可解决。
射频电源故障现象3：有Ua，Ia较小，有Pf和Pr，但较大，调不下来，不起辉。
原因及解决办法：
1) 匹配器输出电缆插头座之间接触不上，解决办法同“2）”；
2) 输出电缆与电极接触**；
3) 电极与外壳短路；
射频电源故障现象4：有Ua，Ia很大。
原因及解决办法：
Ug1无激励。

射频电源安装与调试
1. 电子管的安装
打开机箱上盖，将电子管垂直向下插入管座，插到底，然后顺时针旋转大约60度（有限位），套上接线卡子，将螺钉旋紧一些，再盖上机箱的上盖。
注意用手拿电子管时，不能碰
陶瓷部位，以免手上汗迹沾在陶瓷
部位降低管子的耐压。
2. 接线
如图，注意射频电缆接头要旋
紧，电缆弯曲尽量自然一些。
3. 电源的检查
在未正式与设备连调之前，或在工作过程中有异常，比如不起辉、
不稳定、反向功率大等，可单独检查电源。
方法：用假负载替代真实负载，接通电源→开启开关→当红色小灯亮后→“Ua调节”旋钮逆时针调到头→按下“Ua—ON”开关→顺时针调Ua到200伏（此时各表头均有指示）→调匹配器（反复调）使反射功率*小，如果这时Ua、Ia、功率都正常，则可认为电源工作正常。Ua×Ia×80%≈入射功率。
4. 起辉
在确认射频源正常后，即可接上真实负载进行调试。
**次起辉时，可将Ua调到400~500V，如果未起辉，反射功率会很大，调节耦合和调谐旋钮使之起辉，暂且先不管反射功率有多大。如果不起辉，可降低真空度。磁控溅射真空度可降到数Pa。真空度低些容易起辉。如还不起辉，可采取短时间加大功率的方法。比如Ua加到700V，如果不起辉，马上把Ua降一点，再调一下匹配器电容，再略加高Ua，如此重复进行，直到起辉为止。即：
如果再不起辉，应检查反应室及接线部分是否有问题。
起辉后，调匹配器之电容使反射功率减小直到接近零。
如果起辉时真空度较低，起辉后可逐渐提高真空度.
5. 加功率
在起辉正常后，可提高功率，这里要注意的是，在初次起辉时，可能由于反应或工作气体不干净，设计上欠合理等因素而使反应室内打火，这种情况功率不能提高。**，在正常工作时，通常靶上所加功率为5~10W/cm2,极限功率约为20 W/cm2，所加功率不要超过极限值，否则会烧毁靶。
6. 几个参考数据
射频功率源驻波比≤1.5
磁控溅射功率密度5～10 W/cm2
磁控溅射压强0.5～数Pa
自偏压:100V～500V（自偏压与真空度、功率密度、磁控强度、靶材等有关）
7. 几种故障的判断
在正常工作时，如果发生跳闸现象，则直流供电部分出现故障。
Ua突然变大时，电子管损坏的可能性大。
有Ua无Ia时，驱动板有故障或高频插头接触**。
射频功率源及其它仪表的安装
射频功率源通常用于和等离子设备配套，该设备除主机及射频源以外，还有其它真空仪表，如质量流量计、真空计、分子泵、温控仪表、微机等，如果安装不合理，射频源会干扰这些真空仪表。
1) 射频源的安装：要将匹配器的机箱与真空室尽可能靠近，匹配器安装在机柜内的，要将机柜与真空室尽可能靠近，能直接与真空室或工作台接触*好，如无法接触，要用纺织线以*短的距离将它们连接起来（功率较大的射频源已与真空室接触好）。
2) 其它仪表的安装：a.测量线、控制线要用屏蔽线；b.电源输入要加电源滤波器；c.质量流量计的控制盒与真空室的连接，如可能的话，用绝缘管道。
3) 从真空室里引到真空室外的导线，如照明线、加**、测量控制线及其它电极的引线，在真空室内耦合有很强的射频信号，在引出真空室后，要加电容滤波，去掉射频信号，滤波电容要用耐压高一些的云母电容或CBB电容有时要用高功率瓷介电容。