单晶硅试样
产品简介
光(电)学显微镜放大倍率校正用单晶硅试样(同时评估图象扭曲度)。5mm x 5mm见方,每10µm (0.01mm)有一方格,格与格之间分割线大约为1.9µm宽,每隔500µm有一稍宽的分隔线,用于光学显微镜检测;分隔线和方格由光蚀刻形成,约200nm深。不同样品均可以直接置于单晶硅试样上,从而对光镜(或者低倍电镜)进行内部标定。
产品详细信息
光(电)学显微镜放大倍率校正用单晶硅试样(同时评估图象扭曲度)。5mm x 5mm见方,每10µm (0.01mm)有一方格,格与格之间分割线大约为1.9µm宽,每隔500µm有一稍宽的分隔线,用于光学显微镜检测;分隔线和方格由光蚀刻形成,约200nm深。不同样品均可以直接置于单晶硅试样上,从而对光镜(或者低倍电镜)进行内部标定。
可根据扫描电镜型号的不同选择试样及所带的样品台。
产品选购:
货号
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产品名称
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规格
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79502-01
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Silicon Test Specimen, Unmounted单晶硅试样
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1
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79502-10
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Silicon Test Specimen, Unmounted
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10/pk
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79502-12
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Silicon Test Specimen on 12.5mm Pin Stub
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1
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79502-20
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Silicon Test Specimen for Incident LM
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1
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79502-30
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Calibration Certificate带有认证书的单晶硅试样
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1
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