高精度微组装系统 T5300W
产品简介
高精度微组装系统T-5300W是Tresky公司应用*为灵活的芯片键合平台,通过配置不同的选件和功能模块,可广泛适用于从基本贴放功能 到行业目前*为优越的各种应用领域。和Tresky其他产品线相同,5300W配置了True Vertical Technology™。因此保证了在 任何键合高度平面上芯片与基板的平准度。受益于出色的人机工程学设计理念,
产品详细信息
产品概述
高精度微组装系统T-5300W是高质量、高灵活性的半自动裸芯片贴装机,供选配的功能模块能满足目前工业生产领域所需的各种应用,True Vertical Technology™ 砖利是真正意义上的垂直贴装技术,能在任意贴片高度保证芯片与基板之间的平行。该型号在T-5300的基础上加装配置了晶圆台及顶针系统,可直接从晶圆上拾取芯片。
应用领域:
芯片贴装, 芯片分选, 高精度倒装, 3D封装, MEMS, MOEMS, VCSEL封装, 光电器件封装, 超声工艺, 热压超声工艺, RFID,
传感器组装, 点胶键合, 共晶键合 (AuAu, AuSn, .....)
产品特点
具有出色人机工程学设计的多功能芯片键合平台,可通过程序控制的高精度Z轴驱动系统,高精度键合压力控制
技术参数
1 XY移动(贴装平台): 220mm x 220mm (手动)
2 XY移动(晶圆台): 220mm x 220mm (手动)
3 Z移动: 120mm (自动)
4 吸片头旋转: 360°(手动)
5 键合压力(标准): 20g - 4000g (可选其它压力范围内)
6 键合压力重复精度: ±1g
7 Z轴移动分辨率: ±1μm
8 *大基板尺寸: 400mm x 280mm
9 贴装精度: ±1μm(带分光棱镜),±10μm(目视显微镜)
10 外部连接: 压缩空气5~6 bar / 真空0.3 bar (abs)
11 外形尺寸: 1155mm x 790mm x 728mm
12 重量: 95kg (approx.)
13 输入电压: 110V/220V, 50-60Hz
深圳办地址:深圳市宝安区翻身路48区理想居A栋21E
电话:
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网址: http://www.micropowergroup.com
邮件:bowenzhang@micropowergroup.com