射频自动匹配器 VENA-1000

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产品型号：VENA-1000

品牌：KMATE

公司名称：中山格美电子有限公司

所在地：广东中山

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产品简介

VENA系列自动匹配器用于0-5000W的真空镀膜、等离子刻蚀、等离子清洗、物**象沉积，化学气象沉积，磁控溅射，以及太阳能制造设备PECVD等设备当中，主要功能是实现全自动匹配，解决了现在国内真空镀膜设备中的一个技术空缺；具有自动，快速，可靠，高效，准确，节省人力和时间等特点。

优势	特点
1、性能**可靠，长时间工作稳定 2、实时反射功率测量与控制 3、优化的设计，安装、使用与维修均十分简便 4、匹配范围广，适用于复杂多变的负载系统 5、传输效率高 6、运行噪声小 7、屏蔽效果好 8、严格的可靠性测试	1、加强了镀膜与刻蚀工艺的控制 2、优化的匹配算法加速匹配时间 3、*大限度地减少驻波比与反射功率
主要功能特性
频率	13.560MHz
*大传输功率	1000w
反射功率（*大功率时）	<3w
*大负荷电流	30ARMS
*大负荷电压	7000VRMS
传输效率	>90%
负载阻抗	50Ω
RF输入连接器	50 Ω, UHF（或N-type）, female
*大等离子直流偏置电压	0 to 2.000 VDC
直流偏置电压检测值	0~5VDC
匹配时间	3~5s
主电容	真空电容
可匹配阻抗实部范围	0~80Ω