加热型匀胶机 CY-SPC8-SS
产品简介
本加热型匀胶机主要利用离心涂覆原理将液态或胶体材料涂覆在硅片、晶体、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,该工艺在材料研究领域有着广泛的应用。本加热型匀胶机的工作腔体为聚四氟(塑料王)材质,它是由四氟乙烯经聚合而成的高分子化合物,具有优良的化学稳定性和极强的耐腐蚀性,已广泛应用于各种需要抗酸碱和有机溶剂的场合。本加热型匀胶机内安装有真空数字传感器,涂敷过程中可实时检测系统真空度,控制器必须在合适的真空度下电机才可以正常启动和运行。这样可以有效保障:可靠吸片并杜绝飞片事故的发生。
产品详细信息
加热型旋转涂覆仪技术参数:
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项目 |
明细 |
旋涂仪 |
供电电压 |
AC220V,50Hz |
转速 |
0~10000rpm |
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加速度 |
100~5000rpm/s |
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转速分辨率 |
1rpm |
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单步时间 |
3000s |
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基片尺寸 |
直径≤8英寸(200mm) |
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腔体材质 |
铝合金 |
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加热温度 |
≤200℃ |
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控温方式 |
AIP智能控温 |
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操作方式 |
7寸高清LCD触控屏 |
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滴胶方式 |
手动滴胶,可选购精密注射泵 |
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匀胶曲线 |
每条曲线5段,共可储存5条曲线 |
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抽气接口 |
φ6mm 快拧接口 |
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整机尺寸 |
290mm×365mm×300mm |
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整机重量 |
12kg |
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排气系统 |
真空泵 |
干式机械泵 |
抽气速率 |
50L/min |
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供电电源 |
AC220V 50/60Hz |
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