1200℃双温区3路浮子供气低真空CVD系统 CY-CVD1200-50-200×200-3TH-Q
产品简介
1200℃双温区3路浮子供气低真空CVD系统由双温区管式炉、三路浮子流量计和双极旋片真空泵组成。管式炉两个温区分别由精密控温仪表独立控温,通过调节各个温区的温度,该管式炉可以在加热区内形成两段温度梯度或是形成较长的恒温区域。每个温区均可编辑30段升降温程序,同时有过热和断偶保护功能。1200℃双温区3路浮子供气低真空CVD系统炉管两侧法兰配有数字式真空计和机械式压力表,可以用来控制炉管内的气氛环境。
产品详细信息
1200℃双温区3路浮子供气低真空CVD系统管式炉采用高清真彩触控屏操作,简单易上手,即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法,能够极大的提高您的实验效率。
系统所配有的三路浮子流量计,可以较为准确的配制出实验所需的混合气体;另有一压力表安装在浮子流量计正面,可以监测气体压力及混合槽压力。
适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等,尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。
技术参数:
真
空
管
式
炉
产品型号
CY-CVD1200-50-200×200-3TH-Q
炉管材质
高纯石英
炉管直径
50mm(可选配60mm、80mm、100mm)
炉管长度
1000mm
炉膛长度
440mm
加热区长
200mm+200mm
工作温度
0~1100℃
控温精度
±1℃
控温模式
30段或50段程序控温
显示模式
LCD
密封方式
304不锈钢真空法兰
法兰接口
1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头
可抽真空
4.4E-3Pa
供电电源
AC:220V 50/60Hz
供
气
系
统
产品型号
CY-3F
气体通道
3通道
测量部件
气体浮子流量计
测量量程
A通道:0~100ml/min H2气
备注:如需其它量程或气体种类,定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。
B通道:16~160ml/min N2气
C通道:25~250ml/min Ar气
测量精度
±2.0%
管道耐压
3MPa
工作压差
50~300KPa
连接管道
304不锈钢
控制阀门
304不锈钢针阀
接口规格
进气口和出气口为1/4英寸卡套接头
排
气
系
统
机械泵
旋片泵
抽气速率
1.1L/S
排气接口
KF16
真空测量
电阻规
极限真空
1.0E-1Pa
供电电源
AC:220V 50/60Hz
抽气接口
KF16
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