福禄克 FPG8601 微压活塞式压力计 FPG8601

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产品型号：FPG8601

品牌：福禄克

公司名称：深圳市邦亚电子科技有限公司

所在地：广东深圳

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产品简介

基准级微压活塞压力计，提供微压溯源性
FPG8601是基准级微压活塞压力计，解决了活塞式压力计在微小压力范围内以极小的不确定度提供长期溯源性的需求。福禄克 FPG8601 微压活塞式压力计 福禄克 FPG8601 微压活塞式压力计

产品详细信息

福禄克 FPG8601 微压活塞式压力计

福禄克 FPG8601 微压活塞式压力计产品介绍：

基准级微压活塞压力计，提供微压溯源性
FPG8601是基准级微压活塞压力计，解决了活塞式压力计在微小压力范围内以极小的不确定度提供长期溯源性的需求。

福禄克 FPG8601 微压活塞式压力计 详细介绍：

优异的测量不确定度
该系统在表压和绝压模式下覆盖的量程均为0（绝压为0.5 Pa）～15 kPa（2.2 psi）。测量不确定度为读数的±30 ppm与一个非常小的门限误差的组合，足够小以能够校准量程低达130 Pa (1 Torr，0.5 in. H2O)甚至13 Pa (100 mTorr，0.05 in. H2O)的各种微压传递标准。 DHI有一份完整的不确定度分析报告（请参见DHI技术文章 2090TN05）说明FPG 8601的测量不确定度。该仪器的稳定度取决于碳化钨活塞组和不锈钢砝码，所以FPG8601的校准间隔与传统的活塞式压力计相同，并没有其它特殊的维护要求。除了**的计量性能外，FPG 8601还实现了全自动控制；合理的尺寸和重量，在典型的**计量实验室环境下均可正常工作，没有额外要求。

支持表压、绝压和绝差压测量

FPG 8601支持三种不同的测量模式：

表压模式：把FPG 8601的下方压力室和测试的“低”侧连接在一起，并和环境大气压相同。
绝压模式：FPG 8601的下方压力室被抽成真空，并用真空计测量残留真空。这种模式用于校准密封绝压的DUT。
绝差压模式：把FPG 8601的下方压力室和测试的“低”测连接在一起并抽成真空。这种模式用于校准相对于真空的差压被检对象。
此外，FPG 8601没有特殊环境要求，可安装在2m长的高质量实验台上。压力控制器常常安装在试验台下方。当需要使用绝压功能时，需要考虑真空泵的位置。如果需要，可以随系统提供定制的安装台。其工作环境要求为典型的**计量实验室环境。

福禄克 FPG8601 微压活塞式压力计产品参数：

技术资料
电源要求		FPG 8601：85～264VAC，50/60 Hz，大60 VA VLPC：85～264 VAC，50/60 Hz，大70 VA
正常工作温度范围		20～26 ℃
环境温度稳定性		0.1 ℃/每分钟，*大变化率
重量		FPG 8601平台：30 kg (66 lb) FPG 8601 终端： 2 kg (4.4 lb)
VLPC压力控制器		41 kg (90.4 lb)
尺寸		FPG 8601平台：53 cm 高×36 cm 宽×35 cm 深 FPG 8601终端：12 cm 高×15 cm 宽×20 cm 深 VLPC 压力控制器：31 cm 高×51 cm 宽×53 cm 深
系统控制器		运行FPG Tools，Windows操作系统， RS232和 IEEE-488 接口，用于采集FPG 和 DUT 的数据
全压力量程		0～15 kPa表压、绝压、绝差压
测试介质		氮气或空气
模式转换时间		绝压至表压模式：30分钟表压至绝压模式：1小时
振动		与传统的活塞式压力计相同，真空泵必须用软管连接
压力供给		活塞－套筒润滑气(FPG 8601)：700～800 kPa，清洁、干燥的氮气或空气
		FPG参考真空（绝压模式）：涡轮泵：典型值为378 m3/h，极限压力为8.10-6 Pa
		回转式叶片泵：16.5 m3/h，极限压力为0.2 Pa
		VLPC压力源：700～800 kPa，清洁、干燥的氮气
		VLPC真空：10 m3/h @ 0.5 Pa
		驱动气（FPG 8601和VLPC）：400～700 kPa 压缩空气
压力连接		测试高（FPG 8601）：KF16 测试低（FPG 8601）：KF16 真空参考（FPG 8601）：KF25 真空（FPG 8601）：1/8 in. NPT F 驱动/润滑（FP G8601）：1/8 in. NPT F 压力源（VLPC）：S1/8 in. NPT F 驱动（VLPC）：1/8 in. NPT F 真空（VLPC）：KF25
压力测量
全量程	0～15 kPa 表压、绝压、绝差压
温度影响	监测仪器温度，并在温度变化的速率和大小对性能影响明显时，发出报警。
分辨力	标准：0.010 Pa 高分辨力选件：0.001 Pa
典型压力测量不确定度	标准：表压、绝差压模式：± (0.020 Pa + 30 ppm 读数) 绝压模式：± (0.025 Pa + 30 ppm 读数)
	高分辨力选件：表压、绝差压模式：± (0.005 Pa + 30 ppm 读数) 绝压模式：± (0.008 Pa + 30 ppm 读数)
**模式下的典型残留真空	用涡轮分子泵：0.04～0.1 Pa 用回转式叶片泵：0.3 Pa～0.4 Pa
压力控制
控制范围（Pa）				表压模式：5个交叠的控制范围小压力：0 小受控压力：0.1 Pa
				绝压模式：5个交叠的控制范围小压力：0.4～1 Pa 小受控压力：2 Pa
控制精度				标准：表压模式：± (0.020 Pa + 100 ppm 量程) 绝压模式：± (0.020 Pa + 30 ppm 量程) 高分辨力选件：表压模式：± (0.005 Pa + 60 ppm 量程) 绝压模式：± (0.020 Pa + 30 ppm 量程) 注：控制精度为*差情况。绝压模式在较低范围时的常数更小。
标称测试容积				表压模式：高20 cc/侧（高和低）绝压模式：高500 cc/侧（高和低）压力稳定时间：1～2分钟，取决于测试容积
活塞模块
标称尺寸			直径：35 mm 面积：10 cm2
活塞材料			碳化钨
套筒材料			碳化钨
安装系统			非旋转，独立自定心，中央供气，润滑压力
活塞－套筒间隙			对称圆锥形间隙，双锥形，在中央润滑点为6微米，在活塞末端为1微米
润滑气体质量			清洁、干燥的氨气或空气，内部调整为40～70 %相对湿度
润滑气体压力			表压模式：40 kPa表压绝压模式：40 kPa 绝压润滑气流量：< 1 sccm 至高和低压力室

福禄克 FPG8601 微压活塞式压力计产品配件：

型号	描述
FPG 8601-SYS	具有标准分辨率的微压塞式压力计系统

通用配件:

配件	描述
FPG 8601-MODE-V-REF	真空参考模式
MS-8601-2	2.0kg 砝码套件，带挂钩
BENCH-8601-ABS	FPG8601工作台
FPG 8601-RES-HIGH	高分辨率 (1 mPa)