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产品型号：爱德华EDWARDS iXH 真空泵

品牌：爱德华EDWARDS

公司名称：昆山熙日机械设备有限公司

所在地：江苏昆山

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产品简介

iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场** iH 产品的换代升级，为严苛制程能力 树立了新标准，它在世界上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。 爱德华EDWARDSiXH 系列干泵真空泵 昆山苏州无锡上海爱德华真空泵iXH  重庆成都西安武汉贵阳爱德华iXH 真空泵 锂电池干泵

产品详细信息

爱德华EDWARDSiXH 系列干泵真空泵昆山苏州无锡上海爱德华真空泵iXH 重庆成都西安武汉贵阳爱德华iXH 真空泵锂电池干泵

iXH 干泵 iXH 系列干泵产品是Edwards 的市场** iH 产品的换代升级，为严苛制程能力树立了新标准，它在世界上的许多 300mm 半导体和平板工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。可满足 FPD、太阳能、半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 **大容量干泵和增压泵系列。除了具有高峰值抽取速度外，这些泵还配备多种特性以确保在严苛制程中具有*大可靠性。 iXH 泵采用模块化设计，符合当今的制程要求，并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战有着路线明确的应对计划。

应用

半导体的目标应用包括：PECVD高 K低 KSACVDLPCVDALDEPI

FPD 的目标应用包括：PECVDTCO刻蚀传输腔

主要特性和优势针对先进的 EPI 和太阳能制程大幅提高了氢气抽取速度。大容量干泵和增压泵提供扩展的制程窗口以提高产量。占地面积更小，高度更低，便于在任何工厂中安装。符合主要的国际标准，包括 UL、CE 和 S2。可以始终如一地使用或省略不用。