IQM-233 薄膜沉积控制器 PCI-Express 卡 英福康INFICON 膜厚仪控制卡 昆山苏州英福康INFICON真空计 合肥重庆成都杭州英福康真空

IQM-233 薄膜沉积控制器 PCI-Express 卡

在 PCI EXPRESS 卡上实现低成本镀膜控制

IQM-233 PCI Express 卡可使您的 PC 变成薄膜膜厚控制仪。这种由 INFICON 设计和制造的产品是OEM 系统集成商或要将薄膜膜厚控制仪集成到现有 PC 或 PLC 控制系统的所有厂商的理想选择。安装简便—只需您提供一个未占用的 PCI Express 插槽。IQM-233 可安装到标准或小型 PC 机箱中。

****的功能
IQM-233 可在每个卡上提供三个 QCM 探头输入和三个源输出。单台 PC 上*多可安装两个 IQM-233 卡（需要可选软件IQS-233 ），其*多可提供六个探头输入和六个源输出。只有 INFICON 才能如此灵活地完全实现集成 PC 控制 QCM 探头。

IQM-233 可与 INFICON 振荡器 IPN 782-900-010 兼容，因此更换 SQM-242 卡不需要安装新振荡器。它还与所有 INFICON 单探头和双探头兼容。

选择*适合您的软件解决方案
IQM-233 随附基本 Windows® 软件，用于通过单 IQM-233 卡设置或控制连续镀膜或共镀膜过程。通过可选 IQS-233 共镀膜 Windows® 软件可进行更加复杂的工艺设置，包括多层共镀膜、图型以及PLC与继电器的集成/输入功能。IQS-233 软件*多允许使用两个 IQM-233 卡。

作为希望编写自有软件的客户的备选方案，IQM-233 所包含的 LabVIEW ™ 样板程序可提供基本功能和编程技术的演示。

功能

• PCI Express
• 三个传感器输入，三个控制输出
• 在 PC 中安装多个卡
• 多源共沉积
• 易于进行 PLC 集成以增加 I/O 功能
• 使用方便
• 物有所值

  规格

  类型		IQM-233
  PC 接口		PCIe x1 - PCE Express Slot (Std or SFF)
  传感器输入和性能
  探头输入		3
  连接器		SMA - Includes one SMA/BNC adapter
  频率分辨率 (1)		±0.10 Hz @ 6 MHz
  测量频率范围		Adjustable: 4.0 MHz minimum 6.1 MHz maximum
  厚度和速率分辨率/测量 (2)		±0.12 Å
  测量周期		0.1 to 2.0 s (adjustable)
  输出
  源输出		3
  连接器		15-pin high density D-sub
  信号		0 to +/- 10 V (dc)
  分辨率		15 Bit Plus Sign
  阻抗		50 Ω

  (1) 0.25 秒测量间隔的分辨率
  (2) 工具/密度 = 100/1，基础频率= 6 赫兹，0.25 秒测量间隔

  零件号

  IQM-233
  零件号	明细
  782-IQM-233-G1	用于标准 PCI Express 插槽的 IQM-233 QCM 控制器卡
  782-IQM-233-G2	用于小尺寸架构 (SFF) PCI Express 插槽的 IQM-233 QCM 控制器卡
  782-IQS-233	IQS-233 共沉积软件

  附件

  名称	说明
  前装式单传感器	前装式单传感器
  前装式双传感器	前装式双传感器
  炫酷抽屉单传感器	炫酷抽屉单传感器
  炫酷抽屉双传感器	炫酷抽屉双传感器
  UHV 可烘烤传感器	UHV 可烘烤传感器
  溅射传感器	溅射传感器

  零件号	明细
  Oscillator kits	（包括振荡器和电缆）
  783-500-109-10	3 米（10 英尺）振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆和 3 米（10 英尺）BNC 电缆
  783-500-109-25	7.6 米（25 英尺）振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆和 7.6 米（25 英尺）BNC 电缆
  783-500-109-50	15.2 米（50 英尺）振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆和 15.2 米（50 英尺）BNC 电缆
  783-500-109-75	22.8 米（75 英尺）振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆和 22.8 米（75 英尺）BNC 电缆
  Oscillator Only	（未随附电缆）
  783-500-013	仅 OSC-100 振荡器（无电缆）
  Cables
  600-1441-P1	SMA 至 BNC 适配器，用于 IQM-233 传感器输入
  782-902-011	15.2 厘米（6 英寸）BNC 电缆，公型/母型
  782-902-012-10	3 米（10 英尺）BNC 电缆，公型/公型
  782-902-012-25	7.6 米（25 英尺）BNC 电缆，公型/公型
  782-902-012-50	15.2 米（50 英尺）BNC 电缆，公型/公型
  782-902-012-75	22.8 米（75 英尺）BNC 电缆，公型/公型

耗材