Transpector XPR3 气体分析系统 质谱仪 英福康检漏仪 分析仪 苏州无锡常州南京合肥英福康气体分析仪 济南大连青岛英福康气体分析仪 英福康INFICON Transpector XPR3 气体分析系统
产品简介
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产品详细信息
Transpector XPR3 气体分析系统 质谱仪 英福康检漏仪 分析仪 苏州无锡常州南京合肥英福康气体分析仪 济南大连青岛英福康气体分析仪
Transpector XPR3气体分析系统
通过监测气体压力、检测污染和查找泄漏,优化太阳能电池和 LCD 过程良率
用于监控过程气体和基本真空条件的工具是
Transpector ® XPR3L 气体分析系统提供的经济高效的 RGA。XPR3L 提供的 PVD
过程监控解决方案可以实时提供有关过程气体压力、气体比率、污染级别、杂质和泄漏情况的信息。此信息可用于*大限度提高过程良率和产品质量。XPR3L
提供的本底监控解决方案可以通过快速检测和诊断泄漏及污染,提高预防性维护程序的有效性和效率。
功能
- 通过运行高达 10mTorr(可选 20mTorr)的 UHV,提供经济实惠的双用功能、过程监控和基本真空保证
- 经济高效的过程监控器,可用于可扩展的生产设计
- 通过持续自动监控过程气体压力、气体比率和可能存在的污染或杂质,提高过程良率,减少碎片,提高产品质量
- 通过以高灵敏度和*小可检分压强验证基本真空条件、查找泄漏以及鉴别污染,加快 PM 恢复,提高生产力
- 可在 1 - 100 amu 质量范围内运行,能够检测各种材料、污染或副产品,确保您的投资**,降低投资风险
- 与 FabGuard 监控和分析系统相兼容,提供可靠、先进的诊断和过程控制
典型应用
- 太阳能/光伏设备制造
- LCD 制造
- PVD 过程监控
- 监控过程气体压力和气体比率
- 暴露和鉴别污染
- 检测和查找泄漏(空气、氦气、水及其他蒸汽)
- PM 恢复/故障排除和验证基本真空