英福康INFICON Transpector CPM 紧凑型过程监控器 气体分析仪、质谱仪 英福康检漏仪、质谱仪、分析仪 苏州无锡上海英福康INFICON检漏 英福康INFICON Transpector CPM 紧凑型过程监控器
产品简介
英福康INFICON Transpector CPM 紧凑型过程监控器 气体分析仪、质谱仪 英福康检漏仪、质谱仪、分析仪 苏州无锡上海英福康INFICON检漏仪 苏州湖州芜湖南昌过程监控器
产品详细信息
英福康INFICON Transpector CPM 紧凑型过程监控器 气体分析仪、质谱仪 英福康检漏仪、质谱仪、分析仪 苏州无锡上海英福康INFICON检漏
Transpector CPM 紧凑型过程监控器
经济型综合气体分析
INFICON Transpector® CPM
通过以下功能提供 现场 预警并降低成本:
- 测量气相反应
- 验证真空完整性
- 鉴定痕迹量级污染物
- 测量过程和本底成分
- 检测气体纯度
INFICON CPM
紧凑型过程监控器是一款功能**、结构紧凑且经济实惠的气体分析仪,适用于现场监控复杂的过程。这种干泵系统使用 INFICON Transpector 2 气体分析系统的成熟技术,帮助您达到新的性能水平。
功能
- 基于四极的气体分析系统可监控复杂的过程。
- 支持 24/7 全天候监控,可*大限度地提高产量和吞吐量,从而大幅降低成本。
- 小巧灵活、经济实惠,适合安装到任何高压真空室。
- HexBlock™ 采样系统提高性能。
- 内置 CDG,支持过程压力监控和真空联锁。
- 可选校准基准(用于调节)和气体基准。
- 长寿命封闭式离子源可检测亚 ppm 量级的污染,同时耐*强的腐蚀性和活性气体。
-
轻便,易携带。
附件
CPM Compact Process Monitor 零件号 明细 911-451-P1 Converter, USB to RS232 923-720-G1 1000 Torr CPM CDG,包括电缆 923-720-G2 100 Torr CPM CDG,包括电缆 923-720-G3 10 Torr CPM CDG,包括电缆 923-720-G4 1 Torr CPM CDG,包括电缆
备件
CPM Compact Process Monitor | |
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零件号 | 明细 |
915-700-G2 | Closed Ion Source Kit |
915-701-G2 | Sensor Filament Kit |
915-723-G1 | Closed Ion Source Kit |
915-724-G1 | Spare Ion Source Liner |
923-208-G11 | 1 Torr CPM CDG |
923-208-G12 | 10 Torr CPM CDG |
923-208-G13 | 1000 Torr CPM CDG |
923-401-P1 | Manifold Heater, CPM |
923-403-P2 | US18238, SMC VQ100 Manifold for CPM |
923-404-P1 | HexBlock Insulator, CPM |
923-603-G2 | Electronics Box, CPM |
CPM Compact Process Monitor Gas Inlet | |
零件号 | 明细 |
059-0400 | Replacement c-ring, CPM |
922-204-G1 | Capillary, CPM, 1.5 m |
922-204-G3 | Capillary, CPM, 3 m |
923-706-G10 | Orifice Kit, CPM, 30 Torr |
923-706-G3 | Orifice Kit, CPM, 10 Torr |
923-706-G4 | Orifice Kit, CPM, 1 Torr |
923-706-G5 | Orifice Kit, CPM, 100 mTorr |
923-706-G6 | Orifice Kit, CPM, 10 mTorr |
923-706-G7 | Orifice Kit, CPM, 360 mTorr |
923-706-G8 | Orifice Kit, CPM, 15 mTorr |
923-706-G9 | Orifice Kit, CPM, 3 Torr |
923-707-G1 | Sniffer Kit, CPM, 10 Torr, 5 cm |
923-707-G2 | Sniffer Kit, CPM, 100 Torr |
923-707-G3 | Sniffer Kit, CPM, 7 Torr, 30.5 cm |
923-707-G4 | Sniffer Kit, CPM, 30 Torr, 5 cm |
923-707-G5 | Sniffer Kit, CPM, 300 Torr |
923-707-G6 | Sniffer Kit, CPM, 30 Torr, 30 cm |
923-707-G7 | Sniffer Kit, CPM, 10 Torr, 30.5 cm |
CPM Compact Process Pumping | |
零件号 | 明细 |
923-723-G1 | 4 级隔膜泵 - 24 V(dc) |
923-724-G1 | Turbo SplitFlow PumpKit CPM nonCorrosive |
923-724-G2 | Turbo SplitFlow Pump Kit, CPM Corrosive |
CPM Compact Process Monitor Preventative Maintenance | |
零件号 | 明细 |
923-710-G1 | HexBlock Orifice Replacement tools |
923-711-G1 | HexBlock Valve Replacement Kit |
923-712-G1 | HexBlock Orifice Gasket, Quantity 5 |
923-722-G1 | 用于 2 级泵的更换隔膜套件 |
930-4241-P1 | Replacement Diaphragm Kit, 4-Stage Pump |