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产品简介
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产品详细信息
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Transpector MPS 残余气体分析仪
气体分析标准
为一般真空应用带来**性能和非凡价值
随着制造技术的进步和质量标准的变更,了解相关过程和保持产品质量比以往任何时候都显得更为重要。Transpector
MPS 能够通过过程条件监控、污染检测和泄露检查,帮助您优化过程。Transpector MPS 为客户提供了 Transpector 品牌可靠的、价值非凡的
RGA 性能。
Transpector MPS
提供 100 amu 和 200 amu 型号,使您能够灵活地执行一般泄露检测、真空诊断和碳氢化合物分析等各种功能。此多功能性使 Transpector MPS
成为真空炉、热处理和真空涂层应用的理想选择。
功能
- 双丝极
- 可现场更换电子倍增器
- 可现场更换阳极、阴极和反射极丝极组件
- 可调换传感器和电子元件
- TCP/IP 以太网连接
- 较短的传感器可降低安装占地面积
- 九个数量级的动态量程
- 模拟扫描和所选峰值的 3 ms *高每点数据率
- <1.5E-14 Torr 的 MDPP
- 传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装
-
符合 RoHS 标准
规格
类型 MPS100F MPS100M MPS200F MPS200M 传感器长度 14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm 质量范围 100 amu 100 amu 200 amu 200 amu 检测器类型 FC EM FC EM 灵敏度 (FC) 3E-4 amps/Torr 3E-4 amps/Torr 3E-4 amps/Torr 3E-4 amps/Torr 灵敏度 (EM) NA 500 amps/Torr NA 500 amps/Torr *小可检测分压 2.6E-12 Torr 1.5E-14 Torr 2.6E-12 Torr 1.5E-14 Torr *高传感器工作温度(FC) 200 °C NA 200 °C NA *高传感器工作温度(EM) NA 150 °C NA 150 °C 丝极类型选件 Dual Y2O3/Ir filaments Dual Y2O3/Ir filaments Dual Y2O3/Ir filaments Dual Y2O3/Ir filaments 分辨率 (1) <1 amu Wide <1 amu Wide <1 amu Wide <1 amu Wide 温度系数 (2) <1% per °C <1% per °C <1% per °C <1% per °C *高每点数据率 3 ms 3 ms 3 ms 3 ms 零冲击(位于质量 2) <100 ppm <100 ppm <100 ppm <100 ppm *大工作压力 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr *高烘烤温度 300 °C 300 °C 300 °C 300 °C 功率输入 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC (1) 位于峰值高度的 10%
(2) 时长 8 小时,半小时预热时间;仅适用于 FC 模式