美国MKS MF1质量流量计 苏州无锡上海南通MKS质量流量计 湖州厦门泉州湛江MKS质量流量控制器 美国MKS MF1质量流量计

例如：型号MF1C01311CRAV0

采购序列号

MF1质量流量控制器

MF1

类型

MFC

C

MFM

M

用于校准的气体

氮气N2

013

氨气NH3

029

六氟化硫SF6

110

其他气体

可选

流量范围，sccm量程

10

11C

20

21C

50

51C

100

12C

200

22C

500

52C

1000

13C

2000

23C

5000

53C

10000

14C

20000(不可使用Kalrez密封)

24C

10slm（仅Pfofibus通讯，通讯选项P）

11L

20slm（仅Pfofibus通讯，通讯选项P）

21L

装配件

4VCR

R

4VCO

G

1/4

S

6mm

M

DN KF16

D

MKS表面安装

E

通讯接口

模拟，D型9针插座

A

Profibus DP D型9孔插座

P

RS485，D型9针插座

5

USB

U

密封材料

标配：Vition

V

选配：Buna-N

B

选配：Kalrez

K

附加选件

无附加选件

0

特殊选件

S

初始配置文件

C