英国爱德华EDWARDS涡轮分子真空泵STP-L301 ISO100 入口 B75800090 STP-L301 ISO100 入口 B75800090

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产品型号：STP-L301 ISO100 入口 B75800090

品牌：爱德华

公司名称：昆山熙日机械设备有限公司

所在地：江苏昆山

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产品简介

超高真空 STP 泵
STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的**泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴，确保无污染的风险，同时将振动、噪声以及维护需求降至*低。STP 泵可与各种先进的控制器**连接，从而可用于多种应用和制程中。
英国爱德华EDWARDS涡轮分子真空泵STP-L301 ISO100 入口 B75800090
英国爱德华EDWARDS涡轮分子真空泵STP-L301 ISO100 入口 B75800090

产品详细信息

超高真空 STP 泵

STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的**泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴，确保无污染的风险，同时将振动、噪声以及维护需求降至*低。STP 泵可与各种先进的控制器**连接，从而可用于多种应用和制程中。

概述

Edwards STP-L301 用于电子显微镜和半导体应用。Edwards 的转子技术可实现**的性能，*大的制程灵活性。

应用

金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源，射束线泵送端点站
MBE
扩散
光致抗蚀剂脱模
晶体/晶膜生长
晶片检查
负载锁真空腔
科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜
高能物理：射束线、加速器
放射线应用：融合系统、回旋

功能和优势

先进的转子技术

*大的制程灵活性
无油
低振动
高度可靠
免维护

先进的控制器设计

自动调整
自行诊断功能
直流电机驱动
无电池运行

紧凑型设计

占地面积小
半机架控制器

低振动

内置振动隔离系统提供了优于 STP301C 和外部隔离器的性能。

技术数据

入口法兰	ISO100，CF100
出口	KF25
吹扫口	KF10
抽速
N2	260 ls-1
H2	290 ls-1
压缩比
N2	>108
He	5 x 105
H2	2 x 104
加热时的极限压力（VG/ISO 法兰）	6.5 x 10-6 Pa
	(5 x 10-8 Torr)
加热时的极限压力（ICF 法兰）	10-8 Pa
	(10-10 Torr)
*大允许进气口压力（环境空气冷却）	6.7 x 10-2 Pa
	(5 x 10-4 Torr)
*大连续出口压力（环境空气冷却）	13 Pa
	(0.1 Torr)
额定速度	48000 rpm
启动时间	3 min
*高入口法兰温度	120 °C
输入电压	100 至 120 (± 10) V 交流或
	200 至 240 (± 10) V 交流
启动时的功耗	0.55 kVA
泵重量	13 kg
控制器重量	7 kg