英国爱德华AIGX-S 有源离子真空计AIGX-S-DN16CF D04851000 英国爱德华AIGX-S 有源离子真空计AIGX-S-DN16CF D04851000

产品简介

AIGX 有源离子真空计
Edwards 有源离子真空计 (AIGX) 是紧凑型有源离子真空计，配备两根氧化钇覆膜的铱灯丝，测量范围极广，从 5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr（6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar），并且提供 1 V/decade 线性输出。Edwards AIGX 具备行业标准的有源压力测量概念的所有优势，同时集成了电子器件和可更换的管件。该真空计拥有脱气装置，而且具备保护和延长灯丝使用寿命的功能。得益于极低的带电微粒辐射，AIGX 成为不能有背景噪声的制程的*佳选择。
英国爱德华AIGX-S 有源离子真空计AIGX-S-DN16CF D04851000
英国爱德华AIGX-S 有源离子真空计AIGX-S-DN16CF D04851000

产品详细信息

概述

紧凑型有源离子真空计配备两根氧化钇覆膜的铱灯丝，测量范围极广，从 6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10mbar（5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr），并且提供 1 V/decade 线性输出。Edwards 的新型 AIGX 真空计具备行业标准的有源压力测量概念的所有优势，同时集成了电子器件和可更换的管件。该真空计拥有脱气装置，而且具备保护和延长灯丝使用寿命的功能。得益于极低的带电微粒辐射，AIGX 成为不能有背景噪声的制程的*佳选择。

功能和优势

• **的 8 decade 测量功能，可达 6.6 x 10-10 mbar (5 x 10-10 Torr)。
  
• 有两种款型可用，每一种又有三种真空联轴器变型：
  
• “D”型具有 9 针“D”接头盒标准接口；
  
• “S”型具有增强的功能，与 Edwards 的各种控制器兼容
  
• 与主要竞争对手相比，带电粒子制程污染减少了 30%。
  
• 自动防止在大气条件下启动灯丝以及在高压下运行或脱气。
  
• 在整个测量范围内真空计灵敏度始终保持稳定，从而可以在更高压力下保持输出精度。
  
• 在脱气过程中可以连续进行压力测量输出。
  
• **性设计消除了 X 射线限制的影响。
  
• 双色 LED 提供真空计状态的本地指示。
  
• 输入电压范围宽。
  
• 电子器件极易拆卸以进行*高达 200 °C 的加热。
  
• “S”型提供有无缝的自动发射电流切换，延长了灯丝寿命。
  
• “S”型提供有诊断输出，指示“发射关闭”、“灯丝烧坏”和“过压跳闸”，以帮助进行故障排除。
  
• “S”型提供有一个可以用按钮调整的设定点。

技术数据

压力范围	6.6 x 10-2 至 6.6 x 10-10 mbar
	（5 x 10-2 至 5 x 10-10 Torr）
电源供给	+14.5 至 +30.0 V 直流
功耗	正常工作：7W（*大），
	脱气：14W（*大）
输出信号	线性，1 V / decade
响应时间	1.33 x 10-8 mbar
	(>10-8 Torr) ˜ 100 ms
	1.33 x 10-8 mbar
	(<10-8 Torr) ˜ 1-2 s
*大电压	30 V（直流）
*大电流	100 mA（*大）
工作环境	干燥的非导电性大气
温度范围
工作温度	0 至 +40 °C
存储温度	-30 至 +70 °C

 
有关更多信息，请与 Edwards 联系。