英国爱德华SIPV25P 管线隔离阀SIPV25P，气动，密封式波纹管，铝制阀体 C41624000 管线隔离阀SIPV25P，气动，密封式波纹管，铝制阀体 C41624000

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产品型号：管线隔离阀SIPV25P，气动，密封式波纹管，铝制阀体 C41624000

品牌：爱德华

公司名称：昆山熙日机械设备有限公司

所在地：江苏昆山

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产品简介

软启动阀
Edwards SIPVP 阀是气动操作的软启动型阀，带有可更换的孔板，可为湍急气流会导致微粒污染问题的制程提供受控的制程抽气。
英国爱德华SIPV25P 管线隔离阀SIPV25P，气动，密封式波纹管，铝制阀体 C41624000
英国爱德华SIPV25P 管线隔离阀SIPV25P，气动，密封式波纹管，铝制阀体 C41624000

产品详细信息

概述

这类阀是软启动的气动操作管线阀，带有可更换的孔板，可为湍急气流会导致微粒污染问题的制程提供受控的制程抽气。

随动阀和主阀的组合使得初始泵送可以缓慢进行，以尽可能减少干扰。随动阀和主阀都需要单独的气动连接。

应用

当随动阀打开时，气流以较低流速在阀的两侧间流过可更换孔板，实现慢抽速。达到用户指定的预定义压力级别后，主阀门会根据用户提供的信号打开，实现全通径泵送。
波纹管密封的阀门单向执行，采用气动打开，弹簧封闭。产品随附三个可更换孔板，以使泵的性能符合您的制程需要。标准配置中包含一个微开关，用于指示阀门状态。阀门和微开关都可以加热到 100°C 以加速脱气，防止制程气体在阀门内冷凝。
尽管阀门主要设计用于半导体行业，但也可以用在其他需要受控抽气的应用中。

功能和优势

平均无故障时间可达 5000000 个循环
抽气受控制以适合相关制程
铝阀体
在断电时阀可以快速反应
供货时带有 5 mm、6 mm 和 7 mm 可更换孔板
采用波纹管密封以保证清洁操作
孔板可更换，维护方便
可加热到 100 °C 以防制程气体冷凝

技术数据

阀门执行类型	单向执行，气动打开，弹簧关闭
压力范围	1 x 10-9 至 2100 mbar
	8 x 10-10 至 1575 Torr
*大压力差
打开	1000 mbar/750 Torr
关闭	2100 mbar/1575 Torr
泄漏值	10-9 mbar ls- 1
	10-10 Torr ls- 1
气动连接器	Rp 1/8（1/8 英寸 BSP）*
气动工作压力	2.8 至 4.2 bar/41 至 61 psi
电气指示器	单个微开关
微开关电气额定值	24 V，1.5 A 交流或直流
*大循环频率	900 h-1
波纹管可靠性，MTTF	5000000 循环
工作环境温度	5 - 100 °C
*高加热温度	100 °C
构造材料	HE30TF 铝
O 型圈	氟橡胶
4 bar 时的打开/关闭时间 (ms)	SIPV25P
随动阀	60/20
主阀	15/41
重量 (g/oz)
SIPV25P	920 / 32