英国爱德华pHMB1800 近程增压泵 + PRV 200-230V,50-60 Hz A53303958 英国爱德华pHMB1800 近程增压泵 + PRV 200-230V,50-60 Hz A53303
产品简介
pHMB 机械增压泵 Edwards pHMB 近程增压泵是水冷却型正向罗茨真空泵,专为半导体行业中的负载锁定应用而设计。 这种泵可由变频器驱动,使用适当的前级泵进行控制。 英国爱德华pHMB1800 近程增压泵 + PRV 200-230V,50-60 Hz A53303958 英国爱德华pHMB1800 近程增压泵 + PRV 200-230V,50-60 Hz A53303958
产品详细信息
概述
pHMB 近程增压泵是一种水冷的正向罗茨真空泵,通过一个交流变频器驱动。
每个泵都必须使用按制程和性能规范而选择的适当 Edwards 干泵做为后援。
注意:这些系统不适合用作独立的装置。
每个泵都必须使用按制程和性能规范而选择的适当 Edwards 干泵做为后援。
注意:这些系统不适合用作独立的装置。
应用
pHMB1800 系统只应在传输腔应用中使用。
pHMB 只能与 iF 和 iH 前级泵系统一起使用。
pHMB 只能与 iF 和 iH 前级泵系统一起使用。
技术数据
进气口法兰类型 | ISO160 |
排气法兰类型 | ISO100 |
电源 | 200-230 V,50-60 Hz,三相 |
电机额定功率 | 3.5 kW |
水入口接头 | 3/8" 阳螺纹,快换接头 |
水出口接头 | 3/8" 阴螺纹,快换接头 |
*小冷却水流速 | 2 l min-1 |
冷却水供给温度范围 | 10-30 ºC |
质量 | 289 Kg |
极限噪音 | <53.5 dBA |
对前级管道产生的极限振动 | <1.5mm/s |
对地面产生的极限振动 | <0.1 mm/s |
工作压力范围(进气口) | 极限真空至 1000 mbar* |
工作压力范围(出口) | 极限真空至 3000 mbar |
达到标称泵性能的预热时间 | 15 分钟 |
泵送制程气体所需的*短预热时间 | 4 小时 |
工作环境温度范围 | 5ºC 至 40ºC |
相对湿度 | 10-90% |
存储 | -40ºC 至 +55ºC |
*大工作海拔高度 | 2000 m |
污染度 | 2 (IEC60664-1) |
与泵送气体接触的材料 | 钢、SG 铁、PTFE、氟橡胶和铝 |
变速箱油容量 | 0.7 l |
油等级 | SAE40/ISO150 |
推荐的油类型 | Fomblin® 25/6 Krytox® 1525 Drynert® 25/6 |
* 在特定进气口压力下,pHMB 增压泵会由于气体压缩而变热,这会导致性能降低。如果较高的进气口压力在 3 分钟后得不到恢复,则增压泵可能会在这一较高压力下跳闸。