linetech气体质量流量控制器 M3030V
产品简介
韩国linetech气体质量流量控制器耐压90bar,可测量腐蚀性气体,结构紧凑,重复性高,响应时间快,性价比高,可广泛用于设备配套。韩国Linetech气体质量流量控制器*大流量可测到300SLPM,质量流量计的*大流量可测到1000SLPM。linetech气体质量流量控制器
产品详细信息
一、linetech气体质量流量控制器产品特点
二、linetech气体质量流量控制器技术参数
型号
质量流量计
质量流量控制器
流量范围(N2)
10SCCM~1000SLPM
10SCCM ~ 300slpm
响应时间
<2 sec
<2 sec
精准度
≤±1% FS
≤±1% FS
重复精度
±0.25% FS
±0.25% FS
输入/输出信号
0~5 Vdc OR 4~20 mA
0~5 Vdc OR 4~20 mA
供电电源
±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
耐压
<90bar
0-30SLPM,<90bar;30-100SLPM,<70bar,
100-300SLPM,<15bar
工作环境温度
0~50 °C
0~50 °C
漏率
1*10E-9 atm cc/sec
1*10E-9 atm cc/sec
使用范围
2 ~ 100%
2~ 100%
三、linetech气体质量流量控制器接口尺寸
linetech气体质量流量控制器 linetech气体质量流量控制器