数字式四探测定仪
二、数字式四探测定仪概述
数字式四探测定仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美国 A.S.T.M 标准。
数字式四探测定仪仪器成套组成：由主机、选配的四探针探头、测试台等部分组成。
数字式四探测定仪机主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成。仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入；具有零位、满度自校功能；电压电流全自动转换量程；测试结果由数字表头直接显示。本测试仪特赠设测试结果分类功能，*大分类10类。
数字式四探测定仪探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头，也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。
测试台选配：一般四探针法测试电阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型测试台。二探针法测试电阻率测试选SZT-K型测试台，也可选配SZT-D型测试台以测试半导体粉末电阻率，选配SZT-G型测试台测试橡塑材料电阻率。
数字式四探测定仪详见《四探针仪器、探头和测试台的特点与选型参考》点击进入
仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、结构紧凑、使用简便等特点。
仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。
三、数字式四探测定仪基本技术参数
1. 测量范围、分辨率（可向下拓展1～3个数量级，括号内为向下拓展3个数量级）
电 阻：1.0×10-3 ～ 200.0×105 Ω, 分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×104 Ω
（1.0×10-6 ～ 200.0×102 Ω, 分辨率0.1×10-6 ～ 0.1×102 Ω）
电 阻 率：1.0×10-3 ～ 200.0×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×103 Ω-cm
（1.0×10-6 ～ 200.0×101 Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ～ 0.1×101 Ω-cm）
方块电阻：5.0×10-3 ～ 100.0×104 Ω/□ 分辨率0.5×10-3 ～ 0.1×103 Ω/□
（5.0×10-6 ～ 100.0×101 Ω/□ 分辨率0.5×10-6 ～ 0.1×101 Ω/□）
2. 材料尺寸(由选配测试台和测试方式决定)
直 径： SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm，手持方式不限
SZT-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm，手持方式不限.
长(高)度： 测试台直接测试方式 H≤100mm, 手持方式不限.
测量方位: 轴向、径向均可
3. 数字式四探测定仪量程划分及误差等级
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满度显示
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200.0
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20.00
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2.000
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200.0
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20.00
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2.000
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200.0
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常规量程
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kΩ-cm/□
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Ω-cm/□
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mΩ-cm/□
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*大拓展量程
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Ω-cm/□
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mΩ-cm/□
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μΩ-cm/□
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基本误差
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±2%FSB
±4LSB
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±1.5%FSB
±4LSB
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±0.5%FSB±2LSB
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±0.5%FSB
±4LSB
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4) 工作电源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W
5) 外形尺寸：W×H×L=215mm×85mm×190mm
净 重：≤1.5～2.0kg
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