半导体材料气体检测仪 XPS-7
产品简介
xps-7半导体材料气体只要更换传感器单元就可以检测对象气体;半导体材料气体检测仪XPS-7用盒式传感器单元无需进行检测器校正; 半导体材料气体检测仪XPS-7大幅度削减成本和维护时间
产品详细信息
xps-7半导体材料气体 xps-7半导体材料气体
XPS-7对象气体一览表 | ||||||||
型号 | 气体 | F.S | 型号 | 气体 | F.S | 型号 | 气体 | F.S |
XPS-7NH | NH3 | 100ppm | XPS-7GH | GeH4 | 1ppm | XPS-7HS | H2S | 50ppm |
XPS-7SH | SiH4 | 25ppm | XPS-7CL | CL2 | 5ppm | XPS-7CO | CO | 250ppm |
XPS-7DC | SiH2CL2 | 25ppm | XPS-7CF | CLF3 | 1ppm | XPS-7DS | Si2H6 | 25ppm |
XPS-7AS | AsH3 | 250ppm | XPS-7HC | HCL | 25ppm | XPS-7F2 | F2 | 5ppm |
XPS-7PH | PH3 | 1ppm | XPS-7HF | HF | 10ppm | XPS-7OZ | O3 | 1ppm |
XPS-7BH | B2H6 | 500ppm | XPS-7HB | HBr | 10ppm | |||
XPS-7SE | H2Se | 250ppm | XPS-7NO | NO | 100ppm |
产品描述:半导体材料气体检测
01.产品特点
● 只需要更换传感器单元就可以检测各种对象气体
● 用盒式传感器单元无需进**体检测器校正
● 可以大幅度削减成本和维护时间
02.产品用途
● 半导体工厂/石油化学工厂等
● 在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测
03.对象气体
04.产品参数
※1.根据气体种类不同,满量程也会略有不同。
※2.同一测量条件下。
※3.根据不同环境条件、使用条件、保存期限、电池厂家,有时会有不同。
※4.AC转接器、数据记录收集套装、以及EC-7不属于CE范围。