高纯气体的气相色谱分析预览_资料中心

关键词：高纯气体气相色谱分析方法

所属分类：法规标准

上传时间： 2012-10-25

资料简介：

随着工业的不断发展，各个领域对高纯气　体的品种和质量要求越来越高，如半导体微电　子器件，电真空材料加工，各种金属冶炼和处　理，大规模集成电路生产，色谱等精密仪器仪　表用载气、零点气、标准气的制备，石油化　工，环保，生化，激光，宇航等都直接或间接　用到各种高纯气体。高纯气体纯度分析对提高　高纯气体的产品质量有着十分重要的作用

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高纯气体的气相色谱分析

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