Baratron® 薄膜电容式高精度压力传感器 (温度控制在45℃)

　　690A 高精度压力传感器" href="http://www.18show.cn/product/detail/2674879.html" target="_blank">**压力传感器， 满量程范围： 0.1 –2500 Torr， 精度： 读数值的 0.05%。

　　698A 高精度差压式压力传感器， 满量程范围： 0.1 –1000 Torr， 精度： 读数值的 0.05%。

　　Baratron® 薄膜电容式压力传感器 (工作在室温)

　　622A **压力传感器， 满量程范围： 1 – 1000Torr， 精度： 读数值的 0.15%。

　　626A **压力传感器， 满量程范围： 0.1 – 1000Torr， 精度： 读数值的 0.15%。

　　623A **压力传感器 (带继电器触点控制)， 满量程范围：10 – 1000 Torr， 精度： 读数值的 0.15%。

　　722A 紧凑型**压力传感器， 满量程范围:1 – 2500Torr， 精度： 读数值的 0.5%。

　　i-Baratron® DMA 带DeviceNet™通讯口的数字**压力传感器， 满量程范围： 0.1 – 1000 Torr， 精度： 读数值的0.15%。

　　Baratron® 薄膜电容式压力传感器 (温度控制在45℃)

　　627B/629B **压力传感器， 满量程范围： 0.02 –1000 Torr， 精度： 读数值的 0.12%。

　　E27B/E29B Etch 专用**压力传感器， 满量程范围：0.02 – 100 Torr， 精度： 读数值的 0.12%。

　　624B **压力传感器 (带继电器触点控制)， 满量程范围： 1– 2000 Torr， 精度： 读数值的 0.12%。

　　727A 紧凑型**压力传感器， 满量程范围： 1 – 1000Torr， 精度： 读数值的 0.5%。

　　627C/E27C e-Baratron® 带以太网通讯口的**压力传感器/ Etch专用**压力传感器， 满量程范围： 0.1 – 1000 Torr， 精度： 读数值的 0.12%。

　　i-Baratron® DMA 带DeviceNet™通讯口的数字**压力传感器， 满量程范围： 0.1 – 1000 Torr， 精度： 读数值的 0.12%。

　　D27B/D24B 双量程**压力传感器/**压力传感器(带继电器触点控制)， 满量程范围： 1 – 1000 Torr， 精度： 读数值的 0.12%。

　　Baratron® 薄膜电容式压力传感器 (温度控制在100℃)

　　628B/629B **压力传感器， 满量程范围： 0.02 –1000 Torr， 精度： 读数值的 0.25%。

　　E28B/E29B Etch 专用**压力传感器， 满量程范围：0.02 – 100 Torr， 精度： 读数值的 0.25%。

　　625B **压力传感器 (带继电器触点控制)， 满量程范围： 1– 2000 Torr， 精度： 读数值的 0.25%。

　　728A 紧凑型**压力传感器， 满量程范围： 1 – 1000Torr， 精度： 读数值的 0.5%。

　　628C/E28C e-Baratron®带以太网通讯口的**压力传感器/ Etch专用**压力传感器， 满量程范围： 0.1 – 1000 Torr， 精度： 读数值的0.25%。

　　i-Baratron® DMA 带DeviceNet™通讯口的数字**压力传感器， 满量程范围： 0.1 – 1000 Torr， 精度： 读数值的 0.25%。 (温度控制在 80 ℃)

　　D28B/D25B 双量程**压力传感器/**压力传感器(带继电器触点控制)， 满量程范围： 1 – 1000 Torr， 精度： 读数值的 0.25%。

　　Baratron®薄膜电容式压力传感器 (温度控制在 100 ℃以上)

　　631B 高温型**压力传感器， 满量程范围： 1 – 000Torr， 精度： 读数值的 0.5%， 温度控制在 150 ℃或 200 ℃。 可选带继电器触点控制

　　Baratron®差压式薄膜电容式压力传感器

　　223B 差压式压力传感器 (± 15V 电源)， 满量程范围：0.2 – 1000 Torr， 精度： 0.3%。

　　225A 差压式压力传感器 (+24V 电源)， 满量程范围：0.2 – 1000 Torr， 精度： 0.3%。

　　Micro-Baratron® 薄膜电容式压力传感器

　　890 单端连接式 / 892 气流通过连接式压力传感器，满量程范围： 1000 Torr – 3000 psi， 精度： 读数值的1%。

　　891 单端连接式 / 893气流通过连接式压力传感器带压力显示， 满量程范围： 1000 Torr – 3000PSI， 精度： 读数值的1%。

　　压力开关

　　41 单端连接式表读压力 /42 气流通过连接式表读压力 / 51 单端连接式**压力 /52 气流通过连接式**压力压力开关， 满量程范围： 10 Torr – 500psi， 精度：0.5%。

　　集成 Baratron® 的压力控制器

　　πPC90 集成 Baratron® 的压力控制器，集成压力显示器， 可控制上游或下游压力。 满量程范围： 100 – 2000 Torr， 精度： 读数值的 1%。

　　πPC99 集成 Baratron® 的带流量监测的压力控制器，集成压力/流量显示器， 可控制下游压力。 压力满量程范围： 100 – 2000 Torr， 流量满量程范围： 10 – 5000SCCM， 精度： 读数值的 1%。

　　640 **压力 / 641表读压力集成 Baratron® 的压力控制器， 可控制上游或下游压力。 满量程范围： 10 – 1000 Torr， 精度：读数值的 0.5%。

　　649 集成 Baratron® 的带流量监测的压力控制器，可控制下游压力。 压力满量程范围： 10 – 1000 Torr， 流量满量程范围： 10 – 5000 SCCM， 精度： 读数值的0.5%。

　　上游压力控制阀和压力控制器

　　148J 金属密封压力控制阀， 满量程范围： 10 – 3000SCCM。

　　248A 橡胶密封压力控制阀， 满量程范围： 10 – 5000SCCM。

　　154A 大流量压力控制阀， 满量程范围： 20 –200slm。

　　下游压力控制阀和压力控制器

　　T3PIA 集成了控制和驱动器的摆式压力控制阀。其特点是压力控制范围宽， 速度快， 能**可靠地控制压力。 阀具有良好的低流导甚至阀接近关闭位置的控制能力。自调谐功能使得阀能*快的响应和*小的过冲。 模拟和数字通讯口可选。 其还具有隔离阀的功能。

　　T3BIA 集成了控制和驱动器的蝶式节流阀。 其特点是能快速，能**可靠地控制压力。 阀具有良好的低流导甚至阀接近关闭位置的控制能力。 自调谐功能使得阀能*快的响应和*小的过冲。模拟和数字通讯口可选。

　　253B/653B 蝶式节流阀 /高速蝶式节流阀。其特点是能快速， **， 可靠地控制压力。 各种尺寸接口可选。 可与 651 控制器配套使用。

　　651C 自调谐 /数字PID控制器。其能控制和驱动253/653节流阀。 自调谐功能优化压力控制参数。

　　压力传感器/质量流量控制器电源和显示仪

　　PDR2000 双通道电源和显示仪。提供压力传感器电源和压力显示。

　　660B 单通道电源和显示仪。提供压力传感器电源和压力显示。

　　246C/247D 单/四通道电源和显示仪。提供质量流量控制器电源， 流量设置和流量显示。

　　PR4000 单或双通道电源和显示仪。 提供压力传感器和 (或)质量流量控制器电源， 流量设置和压力/流量显示。

　　647C 四或八通道电源和显示仪。提供压力传感器和质量流量控制器电源， 显示一路压力值， 四路或八路流量设置和显示。PID控制选件可用于由压力信号来控制质量流量控制器或上游控制阀。

　　146C 多达五通道电源和显示仪。仪器有五个插槽供不同控制板使用。 这些控制板可以是：压力传感器板、双皮拉尼真空规板、冷阴极离子真空规板、热阴极离子真空规板、质量流量控制器板、PID控制板。

　　MKS在压力测量和流量控制领域的经典产品(MKS CLASSIC PRODUCTS )

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