电子产业仰赖洁净技术

　　通过近几十年的发展，中国洁净室技术的产业链已逐步形成，上游包括空气净化设备

的制造、洁净室用各种耗材生产；中游包括与洁净室的设计、建造、调试、测试、运行相

关的产业；下游包括各个使用洁净室的行业。并且，随着下游产业在中国的快速发展，以

及它们对生产环境的要求日益增高，洁净室技术也处于高速发展之中。同样，洁净室技术

的发展是下游产业顺利进行的有力保障。所以，洁净室技术与下游产业是互相促进、互相

影响的关系。

　　在应用洁净室技术的相关行业中，电子行业对洁净及相关受控环境依赖性*大，洁净

技术在电子行业应用约占整个洁净行业市场的67%。在我国，电子行业每年花费在洁净室方

面的费用约为50亿元，其中，以集成电路芯片生产线为代表的微电子行业每年约30亿元。

另外，平板显示(FPD)产业作为支撑我国电子信息产业持续发展的战略性产业，也是洁净室

相关供应商的重要用户。据调查，世界上面积*大的洁净室即应用于平板显示行业，一个

单体的洁净室厂房面积可容纳32架飞机。

　　洁净技术对我国电子信息产业发展意义重大，因为它与产品的成品率有着直接关系。

电子行业对生产环境的要求非常高，特别是对直径小于1微米的颗粒特别敏感，因为它们能

引起金属层之间的短路。上海市室内环境净化协会在与电子信息洁净用户交流过程中，洁

净室节能、洁净室的化学污染物质的控制、洁净室气流组织、洁净室使用人的培训及洁净

室运行管理等问题都是热门话题。

　　长三角占据洁净产业高地

　　长三角地区的高新技术产业的快速发展，为洁净室产业发展提供了地理位置优势、市

场竞争优势、技术发展优势、人才整合优势及信息交流优势。

　　目前，在**产业布局中，长三角地区的电子信息产业已经形成一个高度密集的经济

圈，如上海地区目前有漕河泾新兴技术开发区、浦东金桥出口加工区、张江高科技园区等6

大电子制造集聚区，一大批国际先进IC产业巨头纷纷上海，如华虹NEC、中芯国际SMIC、上

海宏力、贝岭股份、先进半导体、英特尔、日月光、台积电等。江苏省目前有苏州高新区

、苏州工业园区、南京江宁开发区、昆山开发区等6大电子信息产业基地，世界500强企业

近1/3在江苏投资，仅苏州地区就有90多家世界500强企业投资近200个项目。浙江省以建成

“天堂硅谷”为目标，已有杭州湾南崖高附加值IT产业带、宁波保税区、富阳光通信产业

特色基地、嘉兴新型元器件生产基地、海宁磁性材料产业基地等。这些集聚区内汇集了国

际国内知名电子制造商，形成了一条产业链，****的电子行业快速发展。同时，洁净

技术作为生产**务业，依托电子行业的快速发展也形成聚集效应，市场的巨大需求，也

带动了洁净行业的技术发展、信息传播、人才培养及标准制定。

　　一些国际知名集成电路企业，对洁净技术要求非常高，洁净厂房的设计、施工、设备

的选用基本上是使用国外的技术和产品，这无形中将国际先进的洁净技术要求及管理带到

长三角地区，也促进了国内企业洁净技术的发展。

　　由于洁净技术是多学科、多技术的组合，其牵涉面非常广泛，在国内已经形成从洁净

设计，施工建造，设备生产、检测、维护管理到技术服务等一条龙的生产**务企业。

　　行业协会支持产业发展

　　几年来协会在洁净行业调研、专业技术人才培养、洁净资质申办、洁净技术和产品标

准的制定、课题立项破题、技术交流与合作及洁净厂房能源节约等方面做了大量富有成效

的工作，取得了一定的成果。

　　洁净厂房是我国的耗能大户之一。据不完全统计，洁净室的能耗是一般写字楼的10-30

倍。我国的8英寸芯片厂，洁净室单位面积能耗比美国同类型工厂高15%(美国耗能1.28kW/m

2-1.63kW/m 2，而中国耗能1.48kW/m 2-1.93kW/m 2)。以上海某知名芯片厂为例，其全年

耗电量的51%是用于洁净室运行的维护，如果将这51%的能耗合理降低，对企业来说就意味

着利润的增长。拥有洁净室的企业都存在节约能源的问题，协会目前正与有关单位联合成

立节能专业委员会，为电子企业的节能降耗提供技术支持。从设计理念、建造施工、设备

配备及运行等各个方面进行节能，只有采取全方位的节能技术，整个洁净室行业才能持续

、良性发展。

　　为摸清行业家底，协会组织在上海本地工作数十年、对各企业较熟悉的专家，以实事

**的调查态度与方法，从摸清企业数、从业人数、类别这样的*本原的调查入手，与电

话询问、走访、表格问询等相结合，收集原始资料，起草了目前上海**份关于洁净行业

的摸底调查，为行业发展提供了**手的原始材料。

　　因为目前我国还没有洁净行业培训统编教程，协会积极组织教授专家编写《洁净室技

术基础》教程，预计年底前将作为统编教材面向**发行。

　　在标准制定方面，由协会负责将等同翻译标准ISO13323转换成国家标准的工作已经全

部完成，该标准对测量洁净室的颗粒物的检测设备——— 粒子计数器的溯源、检测方法等

做了规定，同时协会积极参与我国的洁净室与相关受控环境专业委员会的SAC/TC319的标准

编制工作，组织企业、设计和科研单位参与讨论修订，为标准化委员会积极进言献策。协

会同时正组织专家积极进行《洁净室擦拭布》国家行业标准的起草制定。同时有关其他洁

净产品的标准的制定也在酝酿之中。

　　洁净室技术

　　洁净室技术是空气悬浮粒子浓度受控的房间，它的建造和使用应减少室内诱入、产生

及滞留粒子。洁净室技术是通过各种设备将室内的风量、风速、压力、噪音、照度、温度

、湿度、**浓度、特殊气体、纯水供应等参数控制在适宜范围内的一门多学科交叉技术

。洁净室系统是包含所有相关构筑物、空气处理系统、动力和公用设施在内的洁净室或多

个这样的洁净区。