RoHS检测仪目前市场上常见的类型是X射线荧光分析仪，又分为能量色散型和波长色散型，能量色散型因其技术原理及结构比波长色散型简单，现市场上比较常见，其技术原理：
特征X射线
放射性同位素源或X射线发生器放出的X射线或Γ射线与样品中元素的原子相互作用，逐出原子内层电子。当外层电子补充内层电子时，会放射该原子所固有能量的X射线-特征X射线。
元素含量与特征X射线强度的关系
不同元素特征X射线能量各不相同，依此进行定性分析;再根据特征X射线强度大小，可进行定量分析。
可用函数关系式表示为：C=f(k1I1, k2I2,k3I3...)
式中：Kn(n=1,2,3…)表示第n号元素的待定系数
In(n=1,2,3…)表示第n号元素释放的特征X射线强度
由此可知只要通过标定确定系数Kn之后便可进行物质中元素的定量分析了。
在中华人民共和国境内生产、销售和进口电子信息产品过程中控制和减少电子信息产品对环境造成污染及产生其它公害，适用本办法。但是，出口产品的生产除外。
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