吹扫气体CGA接头选择图
混合气体CGA接头选择图
需要的 CGA接头 | 纯气 |
510/300 | 乙炔 |
590/346/347/702 | 空气 |
240/660/705 | 氨气 |
580/680/677 | 氩气 |
350 | 三氢化砷 * |
320 | 二氧化碳 |
350 | 一氧化碳 |
660 | 氯气 |
510 | 环丙烷 |
350 | 氘气 |
350 | 乙烷 |
350 | 乙烯 |
510 | 氧化乙烯 |
580/680/677 | 氦气 |
350/695/703 | 氢气 |
330 | 氯化氢 |
330 | 硫化氢 |
580 | 氪气, KR-85 |
350/695/703 | 甲烷 |
510 | 氯甲烷 (致冷剂) |
580/680/677 | 氖气 |
580/680/677 | 氮气 |
326 | 氧化二氮 |
540/577/701 | 氧气* |
350 | 磷化氢 |
510 | 丙烷 |
350 | 硅烷* |
668/660 | 二氧化硫 |
590 | 六氟化硫 |
580/680/677 | 氙气 |
混合气体CGA接头选择图
需要的CGA | 混合气体 | |
接头 | 气体量少 | 气体量大 |
240/660/705 | 氨气 | 氮气 |
350 | 丁烷 | 氮气 |
296 | 二氧化碳 | 氧气 |
580 | 二氧化碳 | 氦气或氮气 |
580 | 二氧化碳和/或氮气 | 氦气 |
330 | 氯气 | 氮气 |
350 | 乙硼烷 | 氩气, 氦气, 氢气,氮气 |
580 | 氟利昂 -12 | 氮气 |
296 | 氦气 | 氧气 |
350 | 己烷 | 氮气 |
350 | 异丁烷 | 氮气 |
350 | 氪气-85 | 一氧化碳 , 氢气或甲烷 |
330 | 氪气-85 | 氯气 |
540 | 氪气-85 | 氧气 |
580 | 水蒸气 | 氩气, 氦气或氮气 |
660 | 氧化氮 | 氮气 |
660 | 二氧化氮 | 空气或氮气 |
590 | 氧化氮 | 氮气 |
590 | 氧气 | 氮气或氦气 |
350 | 丙烷* | 氮气或氦气 |
660 | 二氧化硫 | 空气或氮气 |
590 | 六氟化硫 | 氩气, 氦气或氮气 |
350 | 六氟化硫 | 氢气 |
350 | 氘 | 氩气, 二氧化碳 , 氢气 |
甲烷、氖气、或氮气、 氪气、氙气 |
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