一、FFU层流罩是将空气以一定地风速通过高效过滤器后,形成均流层,使洁净空气呈垂直单向流,从而保证了工作区内达到工艺要求的高洁净度。FFU层流罩运用主要运用于洁净室洁净度高等级行业,如LED电子、制药、手术室、实验室等。FFU层流罩可模块化连接使用, FFU层流罩是一种可提供局部洁净环境的空气净化单元,可灵活地安装在需要高洁净度的工艺点上方,洁净层流罩可以单个使用,也可多个组合成带状洁净区域。
二、FFU层流罩构造相关:
A、FFU层流罩由静压箱、风道、风机、气流均衡装置、先进控制系统、金属防护网、高效过滤器机箱外壳体等部件组成。
B、高效过滤器过滤效率:H13:99.99%@0.3μm 至U17:99.999995%@0.12μm 不等。不同效率与滤料高效过滤器价格与FFU层流罩成本不同。
C、FFU层流罩可模块化连接使用,使得FFU风机过滤单元广泛应用于无尘室、无尘操作台、无尘生产线、组装式无尘室和局部百级等应用场合。
D、FFU层流罩壳体结构可选用不锈钢、铝板及冷轧钢板静电喷涂材质,具有重量轻、抗腐蚀、防锈、美观大方的优点。
E、FFU层流罩独立性的结构特点,可随时调整,弥补洁净室机动性不足,从而解决了生产工艺不宜调整的缺点。
三、FFU层流罩特点应用相关:
A、灵活性。因为层流罩是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,层流罩的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。
B、可再利用性。从理论上讲,一时不用的层流罩设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。
C、负压通风。这是层流罩的独特特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于 洁净 厂房负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封变得很简单而且**。第D、缩短建设周期。使用层流罩省掉了风管的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用层流罩成为了一种可能。
E、减少运行成本。虽然在选用层流罩时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,突出的表现出节能、免维护等特点。用大循环减少40%的运行成本。
四、FFU层流罩工作原理
FFU层流罩通电后,风机运转,离心风机将空气吸入,空气到达 FFU 静压箱内,利用风机压力的作用空气到达高效过滤器过滤,通过高效过滤后的空气达到100级(美国联邦209E标准)。然后均匀地送出,到达我们工作的空间中。由于FFU层流罩是连续地工作,不断地送出100级洁净空气,使工作空间形成正压(即工作空间内的空气大于工作域外),同时将工作区域中的不洁净空气排出,由于是正压的环境,工作区域外的空气无法进入工作区域内,从而使工作区域一直达到100级空间。
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