相对湿度和露点
相对湿度
相对湿度（%RH）用于描述存在于空气和水的气体混合物内的水蒸气含量。它是指空气中实际含有的水蒸气量与当时温度下饱和水蒸气量的百分比。在生产现场出现的问题，例如材料的膨胀和收缩、硬化和软化、液体的粘度变化、微生物的繁殖、静电增加、腐蚀和生锈等很大程度上都受到湿度的影响。
露点
相对湿度
相对湿度（%RH）用于描述存在于空气和水的气体混合物内的水蒸气含量。它是指空气中实际含有的水蒸气量与当时温度下饱和水蒸气量的百分比。在生产现场出现的问题，例如材料的膨胀和收缩、硬化和软化、液体的粘度变化、微生物的繁殖、静电增加、腐蚀和生锈等很大程度上都受到湿度的影响。
露点
露点（Td）是指露水或冷凝水在冷却气体上形成时的温度。露点温度用于描述气体（例如空气）中非常微小的水分含量。半导体在微机械加工过程中，由于水分子被认为是污染物，因此其加工环境极其干燥。在这种情况下，相对湿度几乎保持在0%RH，但是露点温度对于被测气体的水分含量变化而言仍然非常敏感。
湿度和露点传感器技术
用于测量空气中水分含量的湿度传感器大致可分为两种类型。一种用于测量湿度，另一种则用于测量露点。在湿度水平高于10%RH的空气中通常需要进行湿度测定，在低湿度的环境下，则倾向于测量露点。在某些高湿条件下，采用露点测量会更方便。
湿度和露点传感器包括：
1. 干湿球湿度计
2. 机械湿度计
3. 氯化锂露点仪
4. 电阻型湿度计
5. 电容型湿度计（结露仪）
6. 镜面露点仪
测量湿度和露点仪器设备包括：
1.湿度记录仪
2. 温湿度记录仪
3.露点仪
4.露点记录仪
5.温湿度露点记录仪
测量湿度和露点仪器设备包括：
1.湿度记录仪
2. 温湿度记录仪
3.露点仪
4.露点记录仪
5.温湿度露点记录仪
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