新工程完工后要做高效过滤器的扫描检漏标准：0.3μm以上粒子连续增加为0个。
目的：检查高效过滤器的安装及与净化间的接缝处，有无破损和裂缝，有无尘埃泄漏。
检测器：Lasair-110、测定用的台车等。
试验条件：动力空调系统运行良好，环境满足净化要求。
测定点：全部高效过滤器。
测定方法：高效过滤器区域（作业室）。
采样口与高效过滤器的距离30 mm，扫描速度50 mm/s。
检查高效过滤器的平面及周边有无尘埃泄漏。
b）沉降粒子
标准：粒子总数增加不超过100个，尘埃的增加数<100个，当超出规格时，需再检一次。试验条件：动力空调系统运行良好，环境满足净化要求。
测定方法：将符合要求的参考片（要求尘埃初始值总数<50个）水平放硅片盒上；经过24 h后，测定并计算尘埃数之差。
c）浮游粒子
标准：作业室0.3μm以上粒子<35个/CF，用力室0.5μm以上粒子<1000个/CF。
测定方法：将激光粒子计数器的采样流量调整到1CFM，连续检测3 min，取平均值，测定高度在工作面区域约为800 mm~1200 mm。此方法是工程中经常采用的方法。一般情况下，*末**过滤器的过滤效率决定净化间的洁净度级别，以0.3μm、100级洁净间的空气净化系统为例分析，工程实践中一般要选择0.12μm、99.999%的ULPA（U15）。
外气经过喷淋（相当于比色法30%），又经过高效过滤器（HEPA）和超高效过滤器（ULPA）后，检测净化间的尘埃分布为：0.1μm~0.3μm的尘埃为8.76个/ft3；大于等于0.3μm的尘埃为35个/ft3。与表1比较发现可以满足净化间的净化级别。因此，选择*末**过滤器的过滤效率对满足净化间的净化级别有重要的意义。
对过滤器寿命的影响
以l00级洁净间的空气净化系统为例分析：
现在的系统中由于在冬季安装上化学过滤器后，活性炭粒的发尘量较大致使后面的高效过滤器容易堵塞，阻力增加较快导致更换频繁。另外，100级洁净间的过滤器级别的级差比较大，例如：粗中效和高效之间相差10级，致使前**过滤器不能很好地保护高效过滤器，导致高效过滤器压差经常超标，更换比较频繁。1997年10月到1998年3月间前工序空调系统13台循环风机更换的高效过滤器数量