Ø
冷却
电流
风
风速素子(白金卷)
风速m/s
Ø 风温测试
温度℃
温度素子(白金电阻)
把传感器放置在与风温相同的环境下,通过测试其电阻值就可得出风温。
膜片
大气压
管道
采用内藏半导体压力传感器的膜片,测试管道内的静压与大气压的差。也可以测试超净间等室内与室外的压力差。
Ø 湿度测试
上部电极
高分子薄膜
下部电极
玻璃底座
结构由玻璃底座、下部电极、高分子薄膜及、上部电极构成。
由电极捕捉高分子薄膜的吸离而产生的感应率的变化。该容量变化与相对湿度成比例。(静电容型)除此之外,还有电阻型,但从精度来讲,一般静电容型在低湿域较强,电阻型在高湿域较强。
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