监测项目
技术要求
监测方法
监测频次
温度
18~28OC(十万级、三十万级)
JGJ71-90
1次/班
湿度
45~65%(十万级、三十万级)
换气次数
十万级≥15次/小时
1次/月
三十万级≥12次/小时
静压差
≥5Pa(不同洁净级别洁净室(区)之间)
≥10Pa(洁净室(区)与室外)
≥5Pa(洁净室(区)之间与非洁净室(区))
尘埃粒子
≥0.5μm
≥5μm
GB/T16292-1996
1次/季
十万级≤3500000个/m3
≤20000个/m3
三十万级≤10500000个/m3
≤60000个/m3
浮游菌
十万级≤500个/m3
GB/T16293-1996
沉降菌
十万级≤10个/皿
GB/T16294-1996
1次/周
三十万级≤15个/皿