无尘室的等级

日期：2024-11-26 16:23

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摘要：

无尘室的等级-无尘室等级划分标准-无尘室等级简介

[Clean ROOM]洁净室，亦名无尘室或清净室，目前已是半导体工业和生物化学、医药、食品界等不可或缺之重要设施。近几年来，由于技术之**发展，对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切，如超大型积体电路(VLSI，Very Large Scale Integrated Circuit)之研究制造，已成为世界各国在科技发展上极为重视之项目，我国亦不例外。

然积体电路与精密轴承(Bearing)、太空航空仪器、光学机械等之精密机械产业，对于空气中之浮游粒子、粉尘等之污染极为敏感，且对于产品之品质、可靠性及良率高低有著极大之影响。由于以上之产品必须在良好之洁净室内进行生产制造，故工业用之洁净室在各种产业上已被广泛采用。另一方面在医学上及医疗技术方面，对于手术室，新生儿室、重症加护病房(Intensive Care Unit, ICU)、**病房及冠状动脉加护病房，(Coronary Care Unit,CCU)等场所所为达成高度医疗效果，亦需有去除空气中浮游**之无菌之无菌环境，以维人员生命**。其次在制药工作、食品制造业及医疗仪器制造业、生化及**培养等为提高产品品质及**卫生，以去除空气中浮游**或微生物与外界异物之干扰侵犯之无菌洁净室亦应运而生。

针对积体电路（半导体行业）而言，洁净室*重要之作用在于控制产品(如夕晶片等)所接轴之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为[洁净室}。换言之，洁净室之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、**等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给于特别设计之房间。亦即是不论为在之空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

从另一角度看，洁净室之立方英尺内之空气所含有大或等于0.5um(10-6M)之灰尘粒子不超过1颗；洁净室10级则为不超过10颗，洁净室100级，1000级......依此类推，为无尘室的等级分类。我们可以一简式表示之即Class1:≦1pc/ft3(@≧0.5um),Class10:≦10pcs/ft3(@≧0.5um)......。

由以上之定义，我们可知构成无尘室须具备以下之各项因素：

能除去空气中漂游之微尘粒子。能防止微尘粒子之产生。温度和湿度之控制。压力之调节。有害气体之排除。结构物与隔间之气密性。静电之防制。电磁干扰之预防。 **因素之考虑。节能之考量。

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