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洁净工作棚设计概念及结构

洁净工作棚设计概念及结构
面对现今半导体工业竞争越来越激烈的情况下，其洁净厂房内洁净度的维持与生产率的提升，是IC制造产业不可缺少的一个环节。新的洁净室设计观念，洁净工作棚采取模组化之整合设计概念，有独立的特制FFU机组（HEPA）。此形式优点在于（弹性隔间容易、构造成本低），使人与设备、产业有效隔离，如此做法可使人为的干忧及污染降低到*低程度，并直接可提高产业质量度。
洁净工作棚结构：
材料以钢方通喷塑作为框架，采用风机滤网机组FFU送风，四周围用防静电垂帘，顶部铺盖密缝盲板，形成一个密缝区，内部净化级别可达10---100000级；特别适用于车间内局部净化级别要求高的区域，如流水线作业区域。高**度产业组装区。
洁净工作棚特点：
组装式结构设计，安装方便，大大缩短了交货周期；
移动方便；适用于建造小面积的洁净区域。
模块化结构，提高净化级别容易，扩展性强，且重复利用价值高。

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