肖特基场发射可变真空扫描电子显微镜A 3 LMU扫描电子显微镜分辨率高真空(二次电子)低真空(背散射电子)（低真空二次电子) 1.0nm(30kV),1.2nm(15kV),2.0nm(3kV)2.0nm(30kV)1.5nm(30kV), 3nm(3kV) 工作真空 高真空 低真空 枪体真空 <5×10-4Pa7-150Pa<3×10-7Pa 电子光学工作模式分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样 放大倍率3.5×-1,000,000×连续可调 加速电压200V至30kV 电子枪高亮度肖特基发射源 探针电流2pA至100nA 扫描速度从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续可调 聚焦窗口大小和位置连续可调 扫描特性动态聚焦，聚焦窗口，点和线扫描，倾斜校正，实时三维图像 图象尺寸*大可达8192×8192象素，图像比例可选1：1、4：3或2：1 显微镜控制能过计算机（键盘、鼠标、轨迹球）操作Mira TC软件，所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现。 自动程序独有的实时电子束追踪(In-Flight Beam TracingTM)技术可持续调节探针电流和束斑直径，真空控制，电子枪合轴，光阑&透镜对中，加速电压改变的补偿，*优化束斑大小和探针电流，*优化放大倍率和束斑大小，扫描速度，高度和对比度，聚焦和消像散，灰度等级调整。 远程控制TCP/IP样品室 软 件 内部尺寸Ф230mm测量软件 门宽148mm图象操作 接口数量11+图象处理 样品室减振方式气垫减振（可选配内置主动式电磁减振）三维扫描+可根据客户需求调整接口数量和位置。硬度测量 样品载台 多图校正 类型全电脑化优中心投影面积 移动范围全马达驱动控制方式:X=80mm－－马达驱动Y=60mm－－马达驱动 Z=47mm－－马达驱动旋转:360°连续可调－－马达驱动倾斜:-80°到+80°－－马达驱动打印放大倍率关机定时器公差测量 形态学 颗粒度分析自动抓图 图象观测电子束写入 样品高度*大81mm 鼠标连接
分辨率高真空(二次电子)低真空(背散射电子)
（低真空二次电子)
1.0nm(30kV),1.2nm(15kV),2.0nm(3kV)2.0nm(30kV)1.5nm(30kV), 3nm(3kV)
工作真空 高真空 低真空 枪体真空
<5×10-4Pa7-150Pa<3×10-7Pa
电子光学工作模式
分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
放大倍率
3.5×-1,000,000×连续可调
加速电压
200V至30kV
电子枪
高亮度肖特基发射源
探针电流
2pA至100nA
扫描速度
从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续可调
聚焦窗口
大小和位置连续可调
扫描特性
动态聚焦，聚焦窗口，点和线扫描，倾斜校正，实时三维图像
图象尺寸
*大可达8192×8192象素，图像比例可选1：1、4：3或2：1
显微镜控制
能过计算机（键盘、鼠标、轨迹球）操作Mira TC软件，所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现。
自动程序
独有的实时电子束追踪(In-Flight Beam TracingTM)技术可持续调节探针电流和束斑直径，真空控制，电子枪合轴，光阑&透镜对中，加速电压改变的补偿，*优化束斑大小和探针电流，*优化放大倍率和束斑大小，扫描速度，高度和对比度，聚焦和消像散，灰度等级调整。
远程控制
TCP/IP
样品室
软 件
内部尺寸
Ф230mm
测量软件
门宽
148mm
图象操作
接口数量
11+
图象处理
样品室减振方式
气垫减振（可选配内置主动式电磁减振）
三维扫描
+可根据客户需求调整接口数量和位置。
硬度测量
样品载台
多图校正
类型
全电脑化优中心
投影面积
移动范围
全马达驱动控制方式:X=80mm－－马达驱动Y=60mm－－马达驱动 Z=47mm－－马达驱动旋转:360°连续可调－－马达驱动倾斜:-80°到+80°－－马达驱动
打印放大倍率
关机定时器
公差测量
形态学
颗粒度分析
自动抓图
图象观测
电子束写入
样品高度
*大81mm
鼠标连接