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曝光机的应用
曝光机
是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线,将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备。是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领。
曝光机具有更广范围(UV,DUV,NUV)的紫外光波长选择,出射光强范围: 8mW/cm2~40mW/cm2,支持恒定光强或恒定功率模式。还用于半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的应用。
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