针对传统的气体热导传感器在气体检测应用中存在检测精度差 、 灵敏度低 、 温度漂移大的缺点 ， 本设计采用新型的号检测技术和温度补偿手段 ， 采取模拟滤波和数字滤波相结合的方法 ， 有效的抑制了各种类型的噪声干扰 ， 提高了系统测量 的精度与灵敏度 ， 实现了微量气体浓度的准确测量 ， 克服了传统气体热导检测的缺点 。
近年来 ， 由于 Ｍ ＥＭ Ｓ 技术 的迅猛发展 ， 它将 微电子技术和精密机械加工技术相互融合 ， 实现了 微电子与机械系统的一体化 。 利用微电子技术和微 加工技术相结合的制造工艺 ， 精确设计几个 μ Ｌ 的 池体积完全不是问题 。 Ｔ ＣＳ２０８Ｆ 传感器就是采用 先进的 Ｍ ＥＭ Ｓ 工艺加工技术制备的新一代传感器 ， 它具有小型化 、 集成化的特点 ， 极大的提高了传感 器 的 性 能 。 设 计 运 用 微 信 号 处 理 技 术 ［４‐５ ］ ，结 合 Ｍ ＥＭ Ｓ 传感器的高性能 ， 设计了一种高性能的气体 浓度检测系统 ， Ｔ ＣＤ 检测方法与其它气体检测 使 方法相比有了新的优势 。
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