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联合优化调控技术达国际先进水平

静电定义及术语:
 
1.ESD的含义及三种型式:
 
ESD的含义:
ESD是代表英文ElectroStatic Discharge即"静电放电"的意思。ESD是本世纪中期以来形成的以研究静电的产生与衰减、静电放电模型、静电放电效应如电流热(火花)效应(如静电引起的着火与)及和电磁效应(如电磁干扰)等的学科。近年来随着科学技术的飞速发展、微电子技术的广泛应用及电磁环境越来越复杂,对静电放电的电磁场效应如电磁干扰(EMI)及电磁兼容性(EMC)问题越来越重视。
 
三种型式:
 
(1)人体型式即指当人体活动时身体和衣服之间的摩擦产生摩擦电荷。当人们手持ESD的装置而不先拽放电荷到地,摩擦电荷将会移向ESD的装置而造成损坏。
 
 (2)微电子器件带电型式既指这些ESD的装置,尤其对朔料件,当在自动化生产过程中,会产生摩擦电荷,而这些摩擦电荷通过低电阻的线路非常迅速地泻放到高度导电的牢固接地表面,因此造成损坏;或者通过感应使ESD的装置的金属部分带电而造成损坏。
  
(3)场感类型式即有强电场围绕,这可能来之于塑性材料或人的衣服,会发生电子转化跨过氧化层。若电位差超过氧化层的介电常数,侧会产生电弧以破坏氧化层,其结果为短路。
 
 (4)其它还有:机器模式、场增强模型、人体金属模型、电容耦合模型、悬浮器件模型。
 
 2.静电术语及定义:
 
① 静电:物体表面过剩或不足的静止的电荷。
   
② 静电场:静电在其周围形成的电场。
   
③ 静电放电:两个具有不同静电电位的物体,由于直接接触或静电场感应引起两物体间的静电电荷的转移。静电电场的能量达到一定程度后,击穿其间介质而进行放电的现象是静电放电。
  
④ 静电度:元器件所能承受的静电放电电压。
  
⑤ 静电器件:对静电放电的器件。
 
⑥ 接地:电气连接到能供给或接受大量电荷的物体,如大地,船等。
 
⑦ 中和:利用异性电荷使静电消失。
  
⑧防静电工作区:配备各种防静电设备和器材,能限制静电电位,具有明确的区域界限和专门标记的适于从事静电防护操作的工作场地。

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