洁净室(CleanRoom)，又名无尘室或清净室。
洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、**等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内设计的房间。即不论外在之空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能。
洁净室主要的作用：控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造，我们称为洁净室。
日本采用公制，以每立方公尺为单位，以0.1um微粒子为计数标准。日本标准的表示法以Class1，Class 2，Class3……Class8表示，好的等级为Class 1，差则为Class 8，
洁净室控管的功能：
能除去空气中飘游之微尘粒子。
能防止微尘粒子的产生。
温度和湿度的控制。
压力的调节。
有害气体的排除。
结构物与隔间的气密性。
静电的防制。
电磁干扰预防。
因素的考虑。
节能的考量。
洁净室分类：
乱流式(TurbulentFlow)：
空气由空调箱经风管与洁净室内的空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风，气流非直线型运动而呈不规则的乱流或涡流状态。适用于洁净室等级1,000-100,000级。
优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室的充比较容易，在某些用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，达到洁净度，耗时长。
层流式(Laminar)：
层流式空气气流运动成一均匀的直线形，空气由覆盖率99%的过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。可分为二种：
水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁的风系统回风，尘埃随风向排出室外。
优点：构造简单，运转后短时间内即可稳定。
缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。
垂直层流式：房间天花板完全被ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，具有较高的净度，在生产中产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板的吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
复合式(MixedType)：
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净的空气。
洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域99%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。需作业人员的工作区与产品和机器维修予以隔离，避免机器维修时影响洁净度，ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易；B.维修设备时可在维修区轻易执行。
洁净管道(CleanTube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量的送风即可得到良好的洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。并装局部洁净室(CleanSpot)：将洁净室等级10,000~100,000的乱流洁净室内的产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，生产所需；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净工作台：等级Class1~100级。
洁净工作棚：在乱流式的洁净室空间内以防静电的透明塑料布围成一小空间，采用HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较的洁净空间，其等级为10~1000级，在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。
洁净室气流的流动
洁净室的洁净度往往受到气流的影响，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃移动、扩散受到气流的支配。
洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，经过此过滤器过滤的空气十分干净。洁净室内除了人以外，有机器等发尘源，发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素，一般洁净室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间，气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、提高风速可保持洁净度、风速的提高，影响运转成本，满足要求的洁净度以适当的风速供应，可以达到经济性效果。达到洁净室洁净度的稳定效果，均一气流保持是重要因素，是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度很困难。
垂直层流式方向要保持均一气流的条件：1吹出面的风速不可有速度上的差异；2板回风板吸入面的风速不可有速度上的差异。过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流现象发生，而0.5m/s气流较均一，目前一般洁净室，风速均在0.25~0.5m/s之间。
影响洁净室的气流因素很多，如制程设备、人员、洁净室器材、照明等，同时对于生产设备上方气流的分流点，应列入考虑因素。
一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3处，使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染。
洁净室内的工作桌等，在相接处均会有涡流现象发生，其附近的洁净度较差，在工作桌面钻上回风孔，使涡流现象减少低；组装材料的选择是否恰当、设备布局是否完善，是成为涡流现象之重要因素。
洁净室之构成
洁净室的构成由下列因素构成完整且品质良好的洁净室：
天花板系统：包括吊杆(Ceilingrod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁；
空调系统：包括空气舱、过滤器系统、风车等；
隔墙板(Partitionalwall)：包括窗户、门；
地板：包括高架地板或防静电舒美地板；
照明器具：包括日光灯、黄色灯管等。
洁净室之建筑必须满足的条件：
不会因温度变化与振动而发生裂痕；
不易产生微尘粒子，且很难附着粒子；
吸湿性小；
为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高。
洁净室按用途分类：
工业洁净室：以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产）LCD（液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
生物洁净室：控制有生命微粒（**）与无生命微粒（尘埃）对工作对象的污染。又可分为；一般生物洁净室：要控制微生物（**）对象的污染。同时其内部材料要能经受各种**剂侵蚀，内部一般正压。实质上其内部材料要能经受各种**处理的工业洁净室。例：制药工业、医院（手术室、无菌病房）食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。生物学洁净室：主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。例：**学、生物学、洁净实验室、物物工程（重组基因、疫苗制备）
乱流洁净室的原理和特性：
定义：乱流洁净室的定义是气流以不均匀速度、不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室.
原理：乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气，将污染空气逐渐稀释，来实现洁净的（乱流洁净室一般设计在千级以上至30万级净化级别）。
特性：乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定净化级别（次数越多，净化级别越高）
自净时间：是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室，室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。1,000级希望不达到20min(分钟) (可取15min计算) 10,000级希望不达到30min(分钟) (可取25min计算) 100,000级希望不达到40min(分钟) (可取30min计算)
换气次数（按上述自净时间要求设计）1,000级43.5—55.3次/小时(规范:50次/小时)10,000
级 23.8—28.6次/小时 (规范:25次/小时) 100,000级 14.4—19.2次/小时 (规范:15次/小时)
洁净室（净化空调）的结构组成：
组合式净化空调机组
洁净送风管道
洁净回风管道
送风静压箱
高效过滤器
多孔扩散板
洁净室吊顶
洁净室隔断
百叶回风口
新风口
污染源知识
发尘量
洁净室内的发尘量，来自设备的可考虑通过局部排风排除，不流入室内；产品，材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比，一般极小，可忽略；由于金属半壁（彩钢夹心板）的应用来自建筑表面的发尘也很少，一般占10%以下，发尘主要来自人，占90%左右。在人的发尘量上，由于服装材料和样式的改进，发尘量也不断减少。
材质：棉质发尘量大，以下依次为棉、的确良、去静电纯涤纶、尼龙；
样式：大挂式发尘量大，上下分装型次之，全罩型少；
活动：动作时的发尘量一般达到静止时间3-7倍；
清洗：用容剂洗涤的发尘量降至用一般水清洗的五分之一。
室内维护结构表面发尘量，以地面为准，大约相应8平方米地面时的表面发尘量与一个静止的人的发
尘量相当。
发菌量可分为：
A净室内当工作人员穿无菌服时：
静止时的发菌量一般为10-300个/min.人
躯体一般活动时的发菌量为 150-1000个/min.人
快步行走时的发菌量为 900-2500个/min.人
B咳嗽一次一般为 70~700个/min.人
喷嚏一次一般为4000~62000个/min.人
C穿平常衣服时发菌量 3300~62000个/min.人
D口罩发菌量:有口罩发菌量1:7~1:14
E菌量：发尘量 1:500~1:1000据国内事例：
F术中人员发菌量 878个/min.人
所以，可知洁净室内无菌衣人员的静态发菌量一般不达到300个/min.人，动态发菌量一般不达到1000个/ min/人，以此作为计算依据是可行的。