潔凈室(CleanRoom)，又名無塵室或清凈室。
潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、**等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內設計的房間。即不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能具有維持原先所設定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能。
潔凈室主要的作用：控制產品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造，我們稱為潔凈室。
日本采用公制，以每立方公尺為單位，以0.1um微粒子為計數標準。日本標準的表示法以Class1，Class 2，Class3……Class8表示，好的等級為Class 1，差則為Class 8，
潔凈室控管的功能：
能除去空氣中飄游之微塵粒子。
能防止微塵粒子的產生。
溫度和濕度的控制。
壓力的調節。
有害氣體的排除。
結構物與隔間的氣密性。
靜電的防制。
電磁干擾預防。
因素的考慮。
節能的考量。
潔凈室分類：
亂流式(TurbulentFlow)：
空氣由空調箱經風管與潔凈室內的空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風，氣流非直線型運動而呈不規則的亂流或渦流狀態。適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
優點：構造簡單、系統建造成本低，潔凈室的充比較容易，在某些用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。
缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活，達到潔凈度，耗時長。
層流式(Laminar)：
層流式空氣氣流運動成一均勻的直線形，空氣由覆蓋率99%的過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于潔凈室等級需定較高的環境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。可分為二種：
水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁的風系統回風，塵埃隨風向排出室外。
優點：構造簡單，運轉后短時間內即可穩定。
缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。
垂直層流式：房間天花板完全被ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，具有較高的凈度，在生產中產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。
優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。
缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板的吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。
復合式(MixedType)：
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈的空氣。
潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域99%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。需作業人員的工作區與產品和機器維修予以隔離，避免機器維修時影響潔凈度，ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易；B.維修設備時可在維修區輕易執行。
潔凈管道(CleanTube)：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量的送風即可得到良好的潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。并裝局部潔凈室(CleanSpot)：將潔凈室等級10,000~100,000的亂流潔凈室內的產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，生產所需；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。
潔凈工作臺：等級Class1~100級。
潔凈工作棚：在亂流式的潔凈室空間內以防靜電的透明塑料布圍成一小空間，采用HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較的潔凈空間，其等級為10~1000級，在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。
潔凈室氣流的流動
潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響，即人、機器隔間、建筑結構等所產生的塵埃移動、擴散受到氣流的支配。
潔凈室系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，經過此過濾器過濾的空氣十分干凈。潔凈室內除了人以外，有機器等發塵源，發生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。
潔凈室內的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，氣流速度屬微風區域，易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、提高風速可保持潔凈度、風速的提高，影響運轉成本，滿足要求的潔凈度以適當的風速供應，可以達到經濟性效果。達到潔凈室潔凈度的穩定效果，均一氣流保持是重要因素，是在壁面，氣流會延著壁面發生渦流作用，此時要實現高潔凈度很困難。
垂直層流式方向要保持均一氣流的條件：1吹出面的風速不可有速度上的差異；2板回風板吸入面的風速不可有速度上的差異。過低或過高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流現象發生，而0.5m/s氣流較均一，目前一般潔凈室，風速均在0.25~0.5m/s之間。
影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設備、人員、潔凈室器材、照明等，同時對于生產設備上方氣流的分流點，應列入考慮因素。
一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點，應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3處，使作業人員工作時，氣流可從制程區內部流向作業區，將微塵帶走；若分流點配置在制程區前方，將成為不當的氣流分流，此時大部份的氣流將流至制程區之后，作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面，工作臺因而將受到污染。
潔凈室內的工作桌等，在相接處均會有渦流現象發生，其附近的潔凈度較差，在工作桌面鉆上回風孔，使渦流現象減少低；組裝材料的選擇是否恰當、設備布局是否完善，是成為渦流現象之重要因素。
潔凈室之構成
潔凈室的構成由下列因素構成完整且品質良好的潔凈室：
天花板系統：包括吊桿(Ceilingrod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁；
空調系統：包括空氣艙、過濾器系統、風車等；
隔墻板(Partitionalwall)：包括窗戶、門；
地板：包括高架地板或防靜電舒美地板；
照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。
潔凈室之建筑必須滿足的條件：
不會因溫度變化與振動而發生裂痕；
不易產生微塵粒子，且很難附著粒子；
吸濕性小；
為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高。
潔凈室按用途分類：
工業潔凈室：以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態。它適用于精密機械工業、電子工業（半導體、集成電路等）宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業（光盤、膠片、磁帶生產）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。
生物潔凈室：控制有生命微粒（**）與無生命微粒（塵埃）對工作對象的污染。又可分為；一般生物潔凈室：要控制微生物（**）對象的污染。同時其內部材料要能經受各種**劑侵蝕，內部一般正壓。實質上其內部材料要能經受各種**處理的工業潔凈室。例：制藥工業、醫院（手術室、無菌病房）食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。生物學潔凈室：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。例：**學、生物學、潔凈實驗室、物物工程（重組基因、疫苗制備）
亂流潔凈室的原理和特性：
定義：亂流潔凈室的定義是氣流以不均勻速度、不平行流動、伴有回流或渦流的潔凈室.
原理：亂流潔凈室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實現潔凈的（亂流潔凈室一般設計在千級以上至30萬級凈化級別）。
特性：亂流潔凈室是靠多次換氣來實現潔凈與潔凈級別。換氣次數決定凈化級別（次數越多，凈化級別越高）
自凈時間：是指潔凈室按設計換氣次數開始送風到潔凈室，室內含塵濃度達到所設計的凈化級別的時間。1,000級希望不達到20min(分鐘) (可取15min計算) 10,000級希望不達到30min(分鐘) (可取25min計算) 100,000級希望不達到40min(分鐘) (可取30min計算)
換氣次數（按上述自凈時間要求設計）1,000級43.5—55.3次/小時(規范:50次/小時)10,000
級 23.8—28.6次/小時 (規范:25次/小時) 100,000級 14.4—19.2次/小時 (規范:15次/小時)
潔凈室（凈化空調）的結構組成：
組合式凈化空調機組
潔凈送風管道
潔凈回風管道
送風靜壓箱
高效過濾器
多孔擴散板
潔凈室吊頂
潔凈室隔斷
百葉回風口
新風口
污染源知識
發塵量
潔凈室內的發塵量，來自設備的可考慮通過局部排風排除，不流入室內；產品，材料等在運送過程中的發塵與人體發塵量相比，一般極小，可忽略；由于金屬半壁（彩鋼夾心板）的應用來自建筑表面的發塵也很少，一般占10%以下，發塵主要來自人，占90%左右。在人的發塵量上，由于服裝材料和樣式的改進，發塵量也不斷減少。
材質：棉質發塵量大，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍；
樣式：大掛式發塵量大，上下分裝型次之，全罩型少；
活動：動作時的發塵量一般達到靜止時間3-7倍；
清洗：用容劑洗滌的發塵量降至用一般水清洗的五分之一。
室內維護結構表面發塵量，以地面為準，大約相應8平方米地面時的表面發塵量與一個靜止的人的發
塵量相當。
發菌量可分為：
A凈室內當工作人員穿無菌服時：
靜止時的發菌量一般為10-300個/min.人
軀體一般活動時的發菌量為 150-1000個/min.人
快步行走時的發菌量為 900-2500個/min.人
B咳嗽一次一般為 70~700個/min.人
噴嚏一次一般為4000~62000個/min.人
C穿平常衣服時發菌量 3300~62000個/min.人
D口罩發菌量:有口罩發菌量1:7~1:14
E菌量：發塵量 1:500~1:1000據國內事例：
F術中人員發菌量 878個/min.人
所以，可知潔凈室內無菌衣人員的靜態發菌量一般不達到300個/min.人，動態發菌量一般不達到1000個/ min/人，以此作為計算依據是可行的。